[发明专利]半导体制造装置的管理系统、方法及计算机程序

说明书

在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。此外，能够容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。在管理者终端(3)和信息处理装置(2)被构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信的系统中，管理者终端(3)从信息处理装置(2)接收半导体制造装置(1)的部件信息。利用确定处理部(32)针对半导体制造装置(1)的拍摄图像确定构成半导体制造装置(1)的部件的位置时，利用合成处理部(33)针对拍摄图像生成使部件信息与所确定的部件的位置合成而成的合成图像，利用图像显示部(34)显示合成图像。另一方面，信息处理装置(2)参照部件信息存储部(2A)，由提取处理部(21)提取部件信息，对管理者终端(3)发送部件信息。

技术领域

本发明涉及分别判别构成半导体制造装置的部件来进行管理的技术。

背景技术

半导体制造装置中使用的气体控制箱具有集成且并列安装有由相同或大致相同构成的流体控制器具构成的多个气体管线的结构。在为了维护而对该气体控制箱进行手动操作或进行流体控制器具的更换时，需要在对照表示流道构成的图的同时，仔细检查在大量并列有流体控制器具时是否真的对正确场所的器具进行了操作。

此外，近年来，在阀等流体控制器具上搭载传感器，收集与它们的动作状况相关的数据，以寿命预测、维护的省力化为目标进行开发。通过该方法，可得到在哪里的流体控制器需要更换、维护这样的信息，但与上述同样地，由于并列有相同或大致相同构成的流体控制器具，因此需要细心留意不要弄错操作对象。

关于这一点，在专利文献1中提出了一种阀管理支援系统，其从正侧面利用终端的照相机拍摄阀，一边利用二维条形码识别阀，一边识别映在照相机中的把手处于哪个高度，从而自动识别阀的开闭状态。

另外，在专利文献2中提出了一种阀操作支援系统，其在终端读取条形码来识别阀，并将阀的操作指示显示于终端。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-258151号公报

专利文献2：日本特开2003-343761号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

专利文献1、2所记载的技术均具有通过图像处理来识别阀的功能，但一边一个一个地确认多个阀一边找出特定的阀很麻烦，即使找出特定的阀，由于阀大量地集成，因此在其后的操作中也有可能看漏或看错特定的阀。由此，期望一种在并列有大量阀时向操作人员无误地指示出操作对象的部件的系统。

因此，本发明的目的之一在于，在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。进而，其目的之一在于，容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。

(用于解决课题的技术方案)

为了实现上述目的，本发明的位置的观点所涉及的半导体制造装置的管理系统是管理由集成的多个部件构成的半导体制造装置的系统，管理所述半导体制造装置的管理者所使用的管理者终端与保持所述半导体制造装置的部件信息的信息处理装置被构成为能够经由网络进行通信，所述管理者终端具有：拍摄单元，其拍摄所述半导体制造装置；部件信息接收单元，其从所述信息处理装置接收所述半导体制造装置的部件信息；确定处理单元，其针对所述半导体制造装置的拍摄图像，确定构成所述半导体制造装置的部件的位置；合成处理单元，其针对所述半导体制造装置的拍摄图像，生成在经确定的所述部件的位置处合成经确定的所述部件的部件信息而成的合成图像；以及图像显示单元，其显示所述合成图像，所述信息处理装置具有：部件信息存储单元，其存储构成所述半导体制造装置的部件的部件信息；提取处理单元，其参照所述部件信息存储单元来提取所述部件信息；以及部件信息发送单元，其对所述管理者终端发送所述部件信息。