[发明专利]致动器、线性马达和光刻设备

权利要求书

1.一种致动器，包括：

线圈；

第一冷却板和第二冷却板，所述第一冷却板和所述第二冷却板被配置用以冷却所述线圈，所述第一冷却板和所述第二冷却板被布置在所述线圈的相对侧以与所述线圈热接触；

其中，所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分，所述第一线圈部分面向所述第一冷却板，所述第二线圈部分面向所述第二冷却板，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开；

其中，所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构，其中所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被布置在冷却板之间，并且所述间隔被布置在所述第一线圈部分与所述第二线圈部分之间；以及

其中，所述致动器还包括布置在所述间隔中的填充元件，所述填充元件将所述第一线圈部分推向所述第一冷却板，并将所述第二线圈部分推向所述第二冷却板。

2.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述填充元件包括以压缩状态布置在所述间隔中的弹性元件，所述弹性元件在垂直于所述冷却板的平面的方向上被压缩。

3.根据权利要求2所述的致动器，其中，未压缩形式的所述弹性元件在垂直于所述冷却板的平面的方向上的尺寸超过了所述间隔在所述方向上的尺寸。

4.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述填充元件包括垫片。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的致动器，还包括灌封材料，其中，所述间隔在所述填充元件外部的体积被所述灌封材料填充。

6.根据权利要求1所述的致动器，还包括在相应的线圈部分与相应的冷却板之间的相应的间隔件。

7.根据权利要求1所述的致动器，其中所述第一线圈部分和所述第二线圈部分各自形成绕轴线缠绕的绕组，所述轴线在垂直于所述冷却板的平面的方向上延伸。

8.根据权利要求7所述的致动器，其中，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被安装在共用的线圈芯上。

9.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述填充元件被布置在所述第一线圈部分和所述第二线圈部分的绝缘层之间。

10.根据权利要求9所述的致动器，其中，所述绝缘层和所述填充元件能形成叠层结构，由此所述填充元件被布置在两个绝缘层之间。

11.一种线性马达，包括根据前述权利要求中任一项所述的致动器。

12.一种光刻设备，包括根据权利要求1至10中任一项所述的致动器。

13.根据权利要求12所述的光刻设备，包括线性马达，其中，所述致动器被包括在所述线性马达中。

14.根据权利要求13所述的光刻设备，还包括

支撑件，所述支撑件被构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面中赋予所述辐射束图案以形成图案化的辐射束；

衬底台，所述衬底台被构造成保持衬底；以及

投影系统，所述投影系统被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底的目标部分上，

其中，所述线性马达能被包括在用于定位所述支撑件的第一定位器和用于定位所述衬底台的第二定位器中的一个中。