[发明专利]光学元件以及投影透镜

权利要求书

1.一种光学元件，是在光学元件基板上具有防反射膜的光学元件，其中，

所述防反射膜具有从空气侧起依次交替地层叠八层以上的由SiO₂构成的低折射率膜和由TiO₂、Nb₂O₅或者Ta₂O₅构成的一种以上的高折射率膜而成的构造，

在所述防反射膜中，若将设计主波长设为550nm，则从空气侧起数而得的第一层～第六层的1/4波长光学膜厚为：

在第一层的低折射率膜中为0.94±0.05，

在第二层的高折射率膜中为1.29±0.25，

在第三层的低折射率膜中为0.08±0.05，

在第四层的高折射率膜中为0.45±0.20，

在第五层的低折射率膜中为2.05±0.20，

在第六层的高折射率膜中为0.45±0.20。

2.根据权利要求1所述的光学元件，其中，

所述防反射膜的总膜层数是十层，

在所述防反射膜中，若将设计主波长设为550nm，则从空气侧起数而得的第七层～第十层的1/4波长光学膜厚为：

在第七层的低折射率膜中为0.19±0.10，

在第八层的高折射率膜中为1.03±0.35，

在第九层的低折射率膜中为0.24±0.15，

在第十层的高折射率膜中为0.30±0.10，

波长420～680nm下的最大反射率为0.2％以下。

3.根据权利要求1所述的光学元件，其中，

所述防反射膜的总膜层数是十三层，

在所述防反射膜中，若将设计主波长设为550nm，则从空气侧起数而得的第七层～第十三层的1/4波长光学膜厚为：

在第七层的低折射率膜中为0.11±0.10，

在第八层的高折射率膜中为1.32±0.10，

在第九层的低折射率膜中为0.42±0.10，

在第十层的高折射率膜中为0.31±0.10，

在第十一层的低折射率膜中为1.05±0.35，

在第十二层的高折射率膜中为0.21±0.15，

在第十三层的低折射率膜中为0.38±0.10，

波长420～780nm下的最大反射率为0.4％以下。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的光学元件，其中，

所述光学元件基板若在300℃以上放置一小时以上并被实施所述防反射膜的涂布，则在波长430nm下产生1％以上的光的吸收损失的增加。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的光学元件，其中，

在所述光学元件基板中，对d线的折射率是1.80809±0.001，阿贝数是22.76±0.36。

6.一种投影仪用投影透镜，其中，

具有权利要求1～5中的任意一项所述的光学元件作为透镜元件。