[发明专利]光学元件以及投影透镜

说明书

光学元件在光学元件基板上具有防反射膜。防反射膜具有从空气侧起依次交替地层叠八层以上的由SiO₂构成的低折射率膜和由TiO₂、Nb₂O₅或者Ta₂O₅构成的一种以上的高折射率膜而成的构造。在防反射膜中，若将设计主波长设为550nm，则从空气侧起数而得的第一层～第六层的1/4波长光学膜厚为：在第一层的低折射率膜中为0.94±0.05，在第二层的高折射率膜中为1.29±0.25，在第三层的低折射率膜中为0.08±0.05，在第四层的高折射率膜中为0.45±0.20，在第五层的低折射率膜中为2.05±0.20，在第六层的高折射率膜中为0.45±0.20。

技术领域

本发明涉及光学元件以及投影透镜，更详细而言，涉及具有防反射膜的光学元件、和具备该光学元件的投影仪用投影透镜。

背景技术

伴随着投影仪用的投影透镜的高精度化，作为投影透镜用的透镜材料，使用各种折射率且较低色散的光学玻璃或较高色散的光学玻璃。然而，在各光学玻璃制造商提供的产品中，若利用以往的防反射膜的制造方法进行加热，则玻璃内部的光的吸收损失增加。例如，在HOYA公司提供的FD225、OHARA公司提供的S－NPH1W这样的光学玻璃中，若通过以往的制造方法的300℃加热来实施涂布，则在波长430nm下产生约1.5％的光的吸收损失的增加。因此，若1万流明以上的大光量的光透过光学玻璃，则即使是微量的吸收率也产生发热，起因于此的光学玻璃的折射率变化会给投影性能带来影响。

为了避免玻璃基板内部的光的吸收损失的增加，需要以低温条件实施涂布。因此，从强度等可靠性的方面来看，不能使用以往经常使用的MgF₂。因此，需要不使用MgF₂的防反射膜。作为不使用MgF₂的防反射膜，例如列举专利文献1所记载的防反射膜。专利文献1所记载的防反射膜通过Nb₂O₅等高折射率膜和由SiO₂构成的低折射率膜的十三层交替层构成，可见光波长带域中的反射率被抑制在3％以下。

专利文献1：日本特开2010－217445号公报

然而，在专利文献1所记载的具有防反射膜的光学元件中，膜层数较多反而防反射性能较低，另外，不能在整个可见光波长带域中获得稳定的防反射性能。

发明内容

本发明是鉴于这样的状况而完成的，其目的在于提供具有即使膜层数较少，防反射性能也较高，并且在整个可见光波长带域中防反射性能稳定的防反射膜，并且光学元件基板内部的光的吸收损失较小的光学元件、和具备该光学元件的投影透镜。

为了实现上述目的，本发明的光学元件是在光学元件基板上具有防反射膜的光学元件，其特征在于，

上述防反射膜具有从空气侧起依次交替地层叠八层以上的由SiO₂构成的低折射率膜和由TiO₂、Nb₂O₅或者Ta₂O₅构成的一种以上的高折射率膜而成的构造，

在上述防反射膜中，若将设计主波长设为550nm，则从空气侧起数而得的第一层～第六层的1/4波长光学膜厚为：

在第一层的低折射率膜中为0.94±0.05，

在第二层的高折射率膜中为1.29±0.25，

在第三层的低折射率膜中为0.08±0.05，

在第四层的高折射率膜中为0.45±0.20，

在第五层的低折射率膜中为2.05±0.20，

在第六层的高折射率膜中为0.45±0.20。