[发明专利]表面处理装置和搬送治具

权利要求书

1.一种表面处理装置，其特征在于，

该表面处理装置具有：

表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；

搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；

供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；

驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及

引导部，其设置于所述表面处理槽的外部，与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，

在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述搬送治具包含水平臂部，该水平臂部以所述工件保持部垂下的方式对所述工件保持部进行支承，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被所述引导部引导；

被驱动部，其被所述驱动部驱动；以及

被供电部，其与所述供电部接触。

3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，

所述引导部配置于所述表面处理槽的所述上部开口的上方，

所述驱动部和所述供电部配置于从所述表面处理槽的所述上部开口的上方偏离的位置。

4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，

所述表面处理槽具有减小所述上部开口的面积的罩。

5.一种搬送治具，其对提供给表面处理装置的表面处理槽的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其特征在于，

该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被设置于所述表面处理槽的外部的引导部引导；

被驱动部，其被设置于所述表面处理装置的驱动部驱动；以及

被供电部，其与设置于所述表面处理装置的供电部接触，

在俯视观察时，所述被引导部与所述工件保持部的距离比所述被驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述被供电部与所述工件保持部的距离短。