[发明专利]表面处理装置和搬送治具

说明书

表面处理装置(10)具有：表面处理槽(200)，其收纳处理液(Q)，具有上部开口(200A)；搬送治具(30)，其包含将工件(20)保持为从表面处理槽的上部开口向处理液内垂下的工件保持部(340)，并且该搬送治具(30)沿着搬送方向(A)对工件(20)进行搬送；供电部(260)，其与搬送治具接触，向工件供电；驱动部(270)，其向搬送治具赋予驱动力，对搬送治具进行搬送驱动；以及引导部(280)，其与搬送治具接触，对搬送治具进行搬送引导，在俯视观察时，引导部与工件保持部的距离(L1)比驱动部与工件保持部的距离(L2)短，并且比供电部与工件保持部的距离(L3)短。

技术领域

本发明涉及对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。

背景技术

专利文献1公开了对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。该表面处理装置兼作经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，搬送治具的一部分与供电/搬送轨道面接触。

另一方面，专利文献2公开了能够对每个设定为阴极的工件进行电流控制的、所谓的阴极分割方式的表面处理装置，专利文献3公开了阴极分割方式的表面处理装置和搬送治具的构造。

如专利文献1所公开的那样，表面处理装置包含对保持着工件的搬送治具进行连续搬送的区域和间歇搬送的区域。间歇搬送如专利文献1所公开的那样例如采用通过推杆从后方推动搬送治具的方式等。另一方面，关于连续搬送，如专利文献1所公开的那样使固定有与设置于搬送治具的爪卡合的齿块的链条连续移动。此外，如专利文献4所公开的那样，将直线搬送路分割为多个区间，通过交替驱动设置于每个区间的2个推杆，能够从后方推动搬送治具而对搬送治具进行连续搬送。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-046782号公报

专利文献2：日本特开2009-132999号公报

专利文献3：日本特开2013-011009号公报

专利文献4：日本特许第6117891号公报

发明内容

发明要解决的课题

例如如上述的阴极分割方式等那样，有时像专利文献3所示的那样设置经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，而不是像专利文献1那样使用供电/搬送轨道。

在该情况下，如专利文献3所示，表面处理装置在俯视观察时在表面处理槽的两侧具有导轨，搬送治具的水平臂部的两端部在俯视观察时在工件保持部的两侧被导轨支承。因此，搬送治具的宽度尺寸较大，治具大型化。表面处理装置的宽度尺寸也会变大，装置大型化。

另外，如专利文献3那样，不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触，减小了如专利文献1那样随着面接触而增大的摩擦力。虽然搬送治具被连续搬送或间歇搬送，但需要保持这些搬送驱动结束后的停止位置的精度。这是为了不对下一个工序的搬送产生妨碍。

本发明的几个方式的目的在于，提供能够减小宽度尺寸而实现小型化，并且能够稳定地对搬送治具进行搬送的表面处理装置和搬送治具。

本发明的其他的几个方式的目的在于，提供能够使不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触而减小摩擦力，并且能够确保连续搬送或间歇搬送结束后的搬送治具的停止位置精度的表面处理装置和搬送治具。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及表面处理装置，其具有：

表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；