[发明专利]搬送装置、搬送方法以及检查系统

权利要求书

1.一种搬送装置，其以第1拍摄位置、翻转位置以及第2拍摄位置的顺序搬送工件，在所述第1拍摄位置处，在使所述工件的一个面朝向上方的状态下进行所述工件的一个面的拍摄，在所述翻转位置处，进行所述工件的上下翻转，在所述第2拍摄位置处，在使所述工件的另一个面朝向上方的状态下进行所述工件的另一个面的拍摄，该搬送装置的特征在于，具备：

第1移动部，其使所述工件在第1交接位置与所述第1拍摄位置之间移动，该第1交接位置与所述第1拍摄位置相对；

第2移动部，其使所述工件在第2交接位置与所述翻转位置之间移动，该第2交接位置与所述翻转位置相对；

第3移动部，其使所述工件在第3交接位置与所述第2拍摄位置之间移动，该第3交接位置与所述第2拍摄位置相对；

第1送给部，其将所述工件从所述第1交接位置向所述第2交接位置送给；以及

第2送给部，其将所述工件从所述第2交接位置向所述第3交接位置送给，

在将被拍摄了所述一个面的工件和上下翻转后的工件分别设为上游工件和下游工件时，

所述第1送给部构成为持续进行以下往复移动，即，在通过使支承所述上游工件的第1工件台从所述第1交接位置向所述第2交接位置移动而将所述上游工件送给到所述第2交接位置后，使利用所述第2移动部使所述上游工件移动到所述翻转位置而成为空状态的所述第1工件台返回至所述第1交接位置，

所述第2送给部构成为持续进行以下往复移动，即，在通过使支承所述下游工件的第2工件台从所述第2交接位置向所述第3交接位置移动而将所述下游工件送给到所述第3交接位置后，使利用所述第3移动部使所述下游工件移动到所述第2拍摄位置而成为空状态的所述第2工件台返回至所述第2交接位置，

所述第1移动部构成为持续进行以下升降移动，即，在通过使空状态的所述第1工件台上升而接收所述上游工件后，通过使所述第1工件台下降而使所述上游工件移动到所述第1交接位置，

所述第2移动部构成为持续进行以下升降移动，即，通过使支承所述上游工件的所述第1工件台上升而使所述上游工件移动到所述翻转位置，通过使成为空状态的所述第1工件台下降而使其返回至第2交接位置，通过使空状态的第2工件台上升而接收所述下游工件，之后，通过使所述第2工件台下降而使所述下游工件移动到所述第2交接位置，

所述第3移动部构成为持续进行以下升降移动，即，通过使支承所述下游工件的所述第2工件台上升而使所述下游工件移动到所述第2拍摄位置，通过使成为空状态的所述第2工件台下降而使其返回至第3交接位置，

同步地执行由所述第1移动部进行的所述上游工件向所述第1交接位置的移动、和由所述第2移动部进行的所述下游工件向所述第2交接位置的移动；

同步地执行由所述第1送给部进行的所述上游工件从所述第1交接位置向所述第2交接位置的送给、和由所述第2送给部进行的所述下游工件从所述第2交接位置向所述第3交接位置的送给；并且

同步地执行由所述第2移动部进行的所述上游工件从所述第2交接位置向所述翻转位置的移动、和由所述第3移动部进行的所述下游工件从所述第3交接位置向所述第2拍摄位置的移动。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

还具备搬入部，该搬入部与由所述第1送给部进行的所述上游工件向所述第2交接位置的送给以及由所述第2送给部进行的所述下游工件向所述第3交接位置的送给同步地，将接着所述上游工件之后的工件作为未处理工件而搬入所述第1交接位置。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，

所述第1移动部与由所述第2移动部进行的所述上游工件向所述翻转位置的移动以及由所述第3移动部进行的所述下游工件向所述第2拍摄位置的移动同步地，使所述未处理工件从所述第1交接位置向所述第1拍摄位置移动。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，

还具备搬出部，该搬出部与由所述第1送给部进行的所述上游工件向所述第2交接位置的移动以及由所述第2送给部进行的所述下游工件向所述第3交接位置的送给同步地，将紧接所述下游工件之前被进行了另一个面的拍摄且位于所述第3交接位置的工件作为处理完毕工件而从所述第3交接位置搬出。