[发明专利]微机械压力传感器组件和用于制造微机械压力传感器组件的方法

权利要求书

1.微机械压力传感器组件(100；200；300；400；500；600；700)，具有：

衬底(110)；

与所述衬底(110)连接的压力传感器构件(120)；和

基本上空心截锥形的套筒结构(130)，该套筒结构与所述衬底(110)连接，该套筒结构至少在横向上围绕所述压力传感器构件(120)，并且该套筒结构在所述套筒结构(130)的背离所述衬底(110)的一侧上具有开口(140)。

2.根据权利要求1所述的微机械压力传感器组件(100；200；300；400；500；600；700)，

其中，所述套筒结构(130)完全地或部分地填充以凝胶(132)，和/或，其中，所述套筒结构具有封闭所述开口(140)的封闭结构(250；350；450)。

3.根据权利要求2所述的微机械压力传感器组件(400)，

其中，所述封闭结构(450)具有疏油层(454)和/或不透光层(452)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械压力传感器组件(500；500’；600；600’；700；700’)，

所述微机械压力传感器组件包括壳体(560；660；760)，该壳体在密封区域(570；670；770)中通过密封材料与所述衬底(110)并且与所述套筒结构(130)气密地连接；

其中，所述密封区域(570；670；770)在所述衬底(110)和所述套筒结构(130)的背离所述衬底的端部(136)之间的区域中布置在所述衬底(110)和/或所述套筒结构(130)上。

5.根据权利要求4所述的微机械压力传感器组件(500；500’)，

其中，所述密封区域(570)具有在所述衬底(110)的表面上的在径向上围绕所述套筒结构(130)的区域。

6.根据权利要求4或5所述的微机械压力传感器组件(600；600’)，

其中，所述密封区域(670)具有空心截锥形的所述套筒结构(130)的径向延伸的法兰(134)的表面。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的微机械压力传感器组件(700；700’)，

其中，所述密封区域(770)具有空心截锥形的所述套筒结构(130)的截锥外周(138)的至少一部分。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的微机械压力传感器组件(500’；600’；700’)，

其中，所述壳体(560；660；760)在所述壳体(560，660；760)的面向所述衬底(110)的端部上具有凹口(590；690；790)，为了构造机械停止部，所述密封材料和/或所述套筒结构(130)的所述法兰(134)嵌接到该凹口中。

9.用于制造微机械压力传感器组件的方法(500；500’；600；600’；700；700’)，所述方法具有以下步骤：

提供(S11)根据权利要求1至3中任一项所述的微机械压力传感器组件(100；200；300；400)；

提供(S12)壳体(560；660；760)；并且

通过在密封区域(570；670；770)中的密封材料使所述壳体(560；660；760)与所述衬底(110)和所述套筒结构(130)气密地连接(S13)，该密封区域在所述衬底(110)和所述套筒结构(130)的背离所述衬底(110)的端部之间的区域中布置在所述衬底(110)和/或所述套筒结构(130)上。

10.微机械压力传感器组件(800)，具有：

衬底(110)，

与所述衬底(110)连接的压力传感器构件(120)；和

套筒结构(830)，该套筒结构与所述衬底(110)连接，该套筒结构至少在横向上围绕所述压力传感器构件(120)并且该套筒结构在所述套筒结构(830)的背离所述压力传感器构件(120)的横向外侧上具有环绕的槽(831)。