[发明专利]光学相干单元和光学相干测量装置

权利要求书

1.一种光学相干单元，其特征在于，具备：

分支光学元件，其将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光；

合波光学元件，其使所述参照光与由被测量物反射后的所述测量光合波并使它们发生干涉；以及

至少一个光纤器件，其具有脱离部，所述脱离部使通过光纤传导的所述激光从所述光纤的芯暂时脱离到具有与所述芯的折射率不同的折射率的外部后再次向所述芯入射，

其中，所述至少一个光纤器件包括参照光用器件，所述参照光用器件为配置于所述分支光学元件与所述合波光学元件之间的所述参照光的光路上的所述光纤器件，

透过光路长度和反射光路长度中的所述透过光路长度为所述反射光路长度以上，以减少在干涉信号的整个波形中产生的噪声，所述透过光路长度为透过所述参照光用器件后的所述参照光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度，所述反射光路长度为由所述参照光用器件的所述脱离部反射后的所述参照光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度。

2.根据权利要求1所述的光学相干单元，其特征在于，

所述光纤器件为调整所述激光的输出的衰减器、调整所述激光的光路长度的光延迟部、循环器以及隔离器中的至少任一个。

3.一种光学相干测量装置，其特征在于，具备：

波长扫频光源，其输出使射出波长随时间进行了扫频的激光；

分支光学元件，其将从所述波长扫频光源输出的激光分支为测量光和参照光；

合波光学元件，其使所述参照光与由被测量物反射后的所述测量光合波并使它们发生干涉；

至少一个光纤器件，其具有脱离部，所述脱离部使通过光纤传导的所述激光从所述光纤的芯暂时脱离到具有与所述芯的折射率不同的折射率的外部后再次向所述芯入射；以及

检测器，其检测由所述合波光学元件生成的干涉光的干涉信号，

其中，所述至少一个光纤器件包括参照光用器件，所述参照光用器件为配置于所述分支光学元件与所述合波光学元件之间的所述参照光的光路上的所述光纤器件，

透过光路长度和反射光路长度中的所述透过光路长度为所述反射光路长度以上，以减少在所述干涉信号的整个波形中产生的噪声，所述透过光路长度为透过所述参照光用器件后的所述激光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度，所述反射光路长度为由所述参照光用器件反射后的所述激光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度。