[发明专利]光学相干单元和光学相干测量装置

说明书

光学相干单元(20)具备分支光学元件(21)、合波光学元件(23)以及至少一个光纤器件(22)。分支光学元件(21)将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光。合波光学元件使参照光与由被测量物反射后的测量光合波并使它们发生干涉。至少一个光纤器件包括参照光用器件(22A)。将透过参照光用器件后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为透过光路长度。将由参照光用器件的脱离部反射后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为反射光路长度。在该情况下，透过光路长度为反射光路长度以上。

技术领域

本公开涉及一种光学相干单元和光学相干测量装置。

背景技术

以往，已知一种具备分支光学元件、合波光学元件以及光纤器件的光学相干单元。分支光学元件使从光源输出的光分支。合波光学元件使分支出的光合波。光纤器件具有脱离部。在脱离部中，通过光纤传导的光从光纤的芯暂时脱离到具有与芯的折射率不同的折射率的外部后再次向芯入射。光纤器件例如具有使光衰减、调整光路等中的至少任一功能。例如，专利文献1中公开的断层像读取部具备作为分支光学元件的一例的光纤耦合器、作为合波光学元件的一例的光纤耦合器以及作为光纤器件的一例的延迟线单元。延迟线单元调整参照光的光路长度。参照光为通过光纤耦合器分支出的光中的一方。另一个光纤耦合器使光路长度被调整后的参照光与测量光合波。测量光为通过光纤耦合器分支出的光中的另一方。通过将参照光与测量光合波，来生成干涉光。利用检测器测量干涉光的每个波长的干涉信号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-226173号公报

发明内容

在光纤器件中，在光从光纤的芯脱离到外部时以及光再次向芯入射时，光在脱离部发生反射。本申请的发明人发现：在使用使射出波长随时间进行了扫频的激光的情况下，由于光纤器件的影响，而在干涉信号的整个波形中产生噪声。虽然没有准确地判明在整个波形中产生噪声的原因，但推测可能是由于由光纤器件的脱离部反射后的反射光而产生的。

本公开的代表性的目的在于提供一种用于减少在干涉信号的整个波形中产生的噪声的光学相干单元和光学相干测量装置。

本公开中的代表性的实施方式提供的光学相干单元具备分支光学元件、合波光学元件以及至少一个光纤器件。分支光学元件将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光。合波光学元件使参照光与由被测量物反射后的测量光合波并使它们发生干涉。至少一个光纤器件具有脱离部，所述脱离部使通过光纤传导的激光从光纤的芯暂时脱离到具有与芯的折射率不同的折射率的外部后再次向芯入射。至少一个光纤器件包括参照光用器件，该参照光用器件为配置于分支光学元件与合波光学元件之间的参照光的光路上的光纤器件。透过光路长度和反射光路长度中的透过光路长度为反射光路长度以上，该透过光路长度为透过参照光用器件后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度，该反射光路长度为由参照光用器件的脱离部反射后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度。