[发明专利]气体供应系统

权利要求书

1.一种气体供应系统，其配备有气罐装置，所述气罐装置具有一个或多个控制向处理室供应处理气体的气动阀，以及一个或多个电磁阀，所述电磁阀通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀；和

气体供应控制装置，其控制所述一个或多个电磁阀的操作；其中所述气体供应控制装置包括：

主控制器，其在正常操作期间控制所述一个或多个电磁阀的致动，和

子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且在感测到异常时，代替所述主控制器控制所述一个或多个电磁阀的致动；

其中所述主控制器和所述子控制器通过数字或模拟或数字和模拟接口来共享数字或模拟或数字和模拟感测信息。

2.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中所述主控制器和子控制器通过模拟接口共享模拟感测信息。

3.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中所述主控制器和子控制器通过数字接口共享数字感测信息。

4.根据权利要求3所述的气体供应系统，进一步地其中所述主控制器和子控制器通过模拟接口共享模拟感测信息。

5.根据前述权利要求中任一项所述的气体供应系统，

其中所述数字感测信息包括选自以下的至少一种：

从火焰感测光学传感器输入的火焰感测信息，

从高温传感器输入的高温感测信息，和

从气体泄漏传感器输入的气体泄漏感测信息；

其中所述火焰感测光学传感器、所述高温传感器和所述气体泄漏传感器安装在所述气罐装置中。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述模拟感测信息包括选自以下的至少一种：

从一个或多个压力传感器输入的气体供应压力感测信息，

从一个或多个重量传感器输入的气罐重量感测信息，和

从一个或多个处理气体温度传感器输入的处理气体温度信息；

并且其中如果存在的话，所述一个或多个压力传感器和一个或多个温度传感器以及一个或多个重量传感器安装在气罐装置中。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述气罐装置还包括一个或多个加热器和一个或多个处理气体温度传感器，并且所述主控制器基于来自所述一个或多个处理气体温度传感器的加热温度感测信息来控制所述一个或多个加热器的启动以防止所述处理气体的液化，

并且其中当所述异常感测发生时，所述子控制器基于所述加热温度感测信息来控制所述一个或多个加热器的启动，以防止所述处理气体的液化。

8.根据权利要求1-4中的任一项所述的气体供应系统，其中所述数字感测信息包括选自以下的至少两种：

从火焰感测光学传感器输入的火焰感测信息，

从高温传感器输入的高温感测信息，和

从气体泄漏传感器输入的气体泄漏感测信息。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述模拟感测信息包括选自以下的至少两种：

从一个或多个压力传感器输入的气体供应压力感测信息，

从一个或多个重量传感器输入的气罐重量感测信息，和

从一个或多个处理气体温度传感器输入的处理气体温度信息。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述气体供应控制装置还包括：

监测系统，其选择性地与所述主控制器和子控制器通信以连续地监视所述处理气体供应状态，和

转换开关，其在正常操作中通过所述通信线路将所述主控制器和监测系统互连，并且当检测到异常时，通过所述通信线路将所述子控制器和监测系统互连。

11.根据权利要求10所述的气体供应系统，其中所述气体供应控制装置还包括监测系统，该监测系统通过所述监测系统与控制室之间的电通信与中央控制室通信。