[发明专利]具有第一腔室和至少一个第二腔室的装置

说明书

具有第一腔室(1)和至少一个第二腔室(2)以及至少一个摆动驱动器(3)的装置，所述摆动驱动器用于使所述装置的摆动物体(4)摆动，其中，所述摆动物体(4)布置在所述第一腔室(1)中并且在所述第一腔室(1)和所述第二腔室(2)之间布置有至少一个中间壁(5)，其中，至少部分环形的传动体(6)能够由所述摆动驱动器(3)围绕旋转轴(7)旋转并且穿过所述中间壁(5)中的至少一个贯通开口(8)，优选两个贯通开口(8)。

技术领域

本发明涉及一种具有第一腔室和至少一个第二腔室以及至少一个摆动驱动器的装置，所述摆动驱动器用于使所述装置的摆动物体摆动，其中该摆动物体被布置在第一腔室中并且在所述第一腔室和所述第二腔室之间布置了至少一个中间壁。

背景技术

例如，当摆动物体应当在第一腔室内摆动、但是用于使所述摆动物体摆动的摆动驱动器应当布置在第二腔室内时，采用通用装置。例如，当所述第一腔室是其中必须在确定的压力和/或温度关系下执行处理的处理腔室时，和/或当必须在所述第一腔室中设置特殊的气体或流体成分以便实现在第一腔室内运行的处理时，可能需要这种分隔。通用装置的一个示例是所谓的真空阀，其中例如为了不将驱动器中的颗粒发展变成第一腔室中的干扰因素，通常不应将驱动器布置在第一腔室或处理腔室中。

例如由US 5,243,867公开了一种通用装置。在该文献中，轴以相应密封的形状穿过所述中间壁，以允许在那里经由偏心轮实现摆动运动。

发明内容

本发明的任务是针对通用装置提出以新的方式将摆动驱动器的运动传递到摆动物体上。

为此，本发明规定：至少部分环形的传动体可由所述摆动驱动器绕旋转轴转动并且穿过在所述中间壁中的至少一个贯通开口、优选两个贯通开口。

换句话说，本发明提出了一种至少部分环形的传动体，该传动体可以由所述摆动驱动器绕着旋转轴转动，并穿过将两个腔室彼此分隔开的中间壁中的至少一个、优选两个贯通开口。所述中间壁也可以称为分隔壁以强调其分隔功能。

所述至少部分环形的传动体也可以称为传动环，其中所述传动环也可以是环段，也就是说，不必一定是完全封闭的环。

在此情况下，一个重要特征是，所述环形传动体包围内部开口或内部空腔，正如已经从环的一般定义中得出的那样。在所述内部开口中，有利地布置了所述中间壁的部分区域。所述传动体有利地以其环形部分穿过所述一个贯通开口或两个贯通开口。如果是两个贯通开口，则它们有利地彼此有间距地布置在所述中间壁中。各自的贯通开口有利地张成平面，所述旋转轴也位于该平面中。如果是两个贯通开口，则这有利地适用于两个贯通开口，其中不必是同一平面。

所述第一腔室可以是处理腔室，在该处理腔室中可以设置期望的压力和/或温度关系和/或存在于所述处理腔室中的气体或流体的期望成分。

所述摆动驱动器有利地布置在所述第二腔室中。在这些情况下，所述第二腔室也可以称为驱动腔室。当然，这并不排除所述摆动驱动器也具有其自己的壳体，该壳体于是可以恰好布置在所述驱动腔室内。当然，所述摆动驱动器及其必要时存在的壳体可以完全地或仅部分地布置在所述第二腔室中。

在至少部分环形的传动体的情况下，平行于所述旋转轴测量的所述环的高度有利地明显小于外环直径。优选地，平行于所述旋转轴测量的所述环的高度最大为所述外环直径的一半，优选最大为所述外环直径的三分之一或最大四分之一。

在优选的实施方式中规定，所述传动体既布置在所述第一腔室中、又布置在所述第二腔室中。情况可以总是如此。但是也可以规定，这仅适用于某些运行状态。但是有利地，所述传动体仅安置在所述第二腔室中。这意味着所述传动体的整个支撑和整个驱动有利地在所述第二腔室中实现或发生。此外优选地规定，所述传动体为了围绕所述旋转轴旋转而在所述第二腔室中与摆动驱动器啮合。然而，所述摆动物体有利地在所述第一腔室中固定在所述传动体上。所述摆动物体通常不能穿过所述中间壁中的被所述部分环形的传动体穿过的贯通开口。