[发明专利]光束扩散器系统及方法

权利要求书

1.一种用以光学扩散光束(L1,L2)的扩散器系统(100)，所述扩散器系统(100)包括至少两个透射扩散器窗口，其中所述扩散器窗口设置成依序扩散透射穿过所述扩散器窗口的所述光束(L1,L2)，其中所述扩散器系统(100)经配置为以角速度(ω1,ω2)连续转动所述扩散器窗口，用以均匀化透射光束(L1,L2)的扩散图样，其中所述扩散器窗口经配置为绕着不同旋转轴线(C1,C2)旋转，其中所述不同旋转轴线(C1,C2)互相平行且以径向中心距离(d12)彼此偏离，其中所述扩散器窗口中的第一扩散器窗口(11)的转动分区与所述扩散器窗口中的第二扩散器窗口(12)的转动分区部分重叠，其中部分重叠的所述转动分区限定用以均匀化且扩散所述透射光束(L1,L2)的光束窗口(W12)，其中所述扩散器窗口被各自的可转动环保持，其中所述可转动环经配置为在各自的轴承结构(13,23)内旋转，其中所述径向中心距离(d12)小于所述扩散器窗口的半径(R1,R2)或一半的直径(D1,D2)。

2.如权利要求1所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口两者的所述轴承结构(13,23)固定在共用框架(31)中。

3.如权利要求2所述的扩散器系统(100)，其中所述共用框架(31)经悬挂成具有共振或自然频率(Fn)，其中所述自然频率(Fn)低于所述扩散器窗口的旋转频率。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述光束窗口(W12)大于所述扩散器窗口的半径(R1,R2)或一半的所述直径(D1,D2)。

5.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，包括旋转构件，所述旋转构件经配置为使所述扩散器窗口以相同的角速度旋转。

6.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其包括旋转构件，所述旋转构件经配置为使所述扩散器窗口在相同的角度方向旋转。

7.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口的表面经配置为以在所述光束窗口(W12)中不变的相对表面速度(V12)移动。

8.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口有相同的直径或半径。

9.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述光束窗口(W12)具有的直径小于各自的扩散器窗口的直径(D1,D2)。

10.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口在平面中旋转。

11.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口经设置成所述扩散器窗口的表面以轴向距离(Z12)互相平行，其中所述轴向距离(Z12)小于50毫米。

12.如权利要求1-3中的任一项所述的扩散器系统(100)，其中所述扩散器窗口包括用于使所述透射光束(L1,L2)扩散的表面结构。

13.一种光刻系统(1000)，其包括如前述权利要求中的任一项所述的扩散器系统(100)。