[发明专利]光束扩散器系统及方法

说明书

一种用以光学扩散光束(L1,L2)的扩散器系统(100)及方法。提供至少两个透射扩散器窗口(11,21)。扩散器窗口(11,21)经设置成依序扩散透射穿过彼等的光束(L1,L2)。扩散器系统(100)经配置为以角速度(ω1,ω2)连续转动扩散器窗口(11,21)，用以均匀化透射光束(L1,L2)的扩散图样。扩散器窗口(11,21)经配置为绕着不同的旋转轴线(C1,C2)旋转。不同旋转轴线(C1,C2)互相平行且以径向中心距离(d12)彼此偏离。第一扩散器窗口(11,21)的转动分区与第二转动扩散器窗口(11,21)的转动分区部分重叠。部分重叠的转动分区限定用以均匀化且扩散透射光束(L1,L2)的光束窗口(W12)。

技术领域和背景

本公开有关于用于扩散光束的光学扩散器系统及方法。

光学扩散器可用来扩散光束，例如用于均匀化例如使用于光刻技术的光学系统中的光线。例如，美国第7,148,952号专利描述一种光刻设备，其包括用以提供辐射投影光束的照明系统。该照明系统包括至少一个活动光学组件，致使辐射投影光束可在中央位置附近偏移。根据先前技术，这确保可抹除投影光束的强度分布的不均匀性，接着这可提供要由系统照明的表面的改良曝光均匀性，例如晶圆或其它基板。该光学组件可包括电动机可移动的反射镜、棱镜、滤镜、透镜、转向镜、扩散器、绕射光学数组，光学积分器等等。

US 2007/0274075 A1描述一种激光照明器，其包括能够修改光学扩散条件的至少一个光学扩散构件、与用于抑制光的发散的至少一个光学抑制构件，其中，该光学扩散构件与该光学抑制构件沿着自激光光源放射出的激光束的光学路径设置，且激光束通过穿经光学扩散构件及光学抑制构件被转换成被扩散而不发散的光束以用于照明或激发物件。

为了充分抹除不均匀性，应以最小的速度移动光学组件。不过，例如透射扩散器的转动组件在旋转中心可能具有比边缘低的速度。因此，扩散器的有效可用表面可能低且对光束的不同部分提供不一致的模糊(smearing)。公知扩散器系统及方法需要进一步改善以缓解这些及其它的问题。

发明内容

在一方面，本公开提供一种用于光学扩散光束的扩散器系统或方法。提供至少两个透射扩散器窗口。该等扩散器窗口经设置成依序扩散透射穿过它们的光束。该扩散器系统经配置为以角速度连续转动该等扩散器窗口，用以均匀化透射光束的扩散图样。有利的是，该等扩散器窗口经配置为绕着不同的旋转轴线旋转。该等不同旋转轴线互相平行且以径向中心距离彼此偏离。因此，该第一扩散器窗口的转动分区与该第二转动扩散器窗口的转动分区部分重叠。藉此，部分重叠的该等转动分区限定光束窗口用以均匀化及扩散该透射光束。

如下文参考附图更详细地解释的，使光束依序透射穿过一对部分重叠的转动扩散器窗口可提供该等扩散器表面的更一致相对运动。例如，在离第一扩散器中心较远且离第二扩散器中心较近的区域处，第一扩散器的表面可相对较快地移动，同时第二扩散器相对较慢地移动。这同样适用于以其它方式小幅修改成离第一扩散器中心较近且离第二扩散器中心较远的情形。第一扩散器的相对快速或缓慢移动表面因此各自可至少部分补偿第二扩散器的的相对缓慢或快速移动表面。因此，在该等扩散器窗口的重叠区可得到更一致的模糊。此外，例如，在扩散器的中心附近的区域可被另一扩散器的移动表面覆盖。因此，可改善有效可用区和/或节省材料。

附图说明

由以下说明、随附权利要求及附图可更加了解本公开的设备、系统及方法以上及其它的特征、方面及优点，其中：

图1A及图1B示意地图标扩散器系统的实施方式的原理；

图2A及图2B示意地比较有转动窗口的扩散器系统与有两个转动窗口的扩散器系统；

图3示意地图标扩散器系统的实施方式的侧面剖视图；

图4示意地图示该实施方式的前视图；

图5的侧视图示意地图标包括扩散器系统的光刻系统的实施方式。

具体实施方式