[发明专利]光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜有效
| 申请号： | 201880040313.6 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110785705B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 朴银石;林敏映;金智慧 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033;G03F7/028;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高世豪;梁笑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 使用 光致抗蚀剂膜 | ||
1.一种光致抗蚀剂组合物，包含光致产酸剂和(甲基)丙烯酸类树脂，所述(甲基)丙烯酸类树脂包含(甲基)丙烯酸类重复单元和键合至所述重复单元的支链末端的由以下化学式1表示的官能团：
[化学式1]
其中，在化学式1中，
R1和R2各自独立地为氢、羧基、基于聚氧化烯的官能团、具有1至20个碳原子的烷基、或具有6至20个碳原子的芳基，或者R1和R2彼此连接以形成具有3至20个碳原子的环烷基，
其中所述支链包含由以下化学式2表示的官能团：
[化学式2]
其中，在化学式2中，
R3为具有1至20个碳原子的烷基、或具有6至30个碳原子的芳基，
L为直接键、-O-、-CO-、-S-、-SO2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-CONH-、-COO-、-(CH2)y-、-O(CH2)yO-、-{(CH2)yO}p-、-NH-、-NH(CH2)y-NH-、-NH(CH2)yO-、-OCH2-C(CH3)2-CH2O-、-COO-(CH2)y-OCO-、或-OCO-(CH2)y-COO-，以及
L中的y和p各自独立地为1至10的整数，
其中化学式1的官能团键合至化学式2的R3，
其中所述(甲基)丙烯酸类重复单元由以下化学式4表示：
[化学式4]
其中，在化学式4中，
R4至R7各自独立地为氢或甲基，
R8为具有4至10个碳原子的烷基，
R9为由化学式2表示的官能团，
R10为具有3至20个碳原子的环烷基，以及
a:b:c:d的摩尔比为3至6:0.5至2:2至5:1至5。
2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其中，在化学式2中，R3为苯基，L为直接键或-{(CH2)yO}p-，以及y和p各自独立地为1至5的整数。
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