[发明专利]谐振器以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振器，具有：

基部；以及

3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于上述第一电极与第二电极之间，且具有与上述第一电极对置的上表面，并在电压施加于上述第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与上述基部的前端连接的固定端，另一端是向远离上述前端的方向延伸的开放端，

上述3根以上的振动臂具有：

2根第一臂，在上述3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及

1根以上的第二臂，夹在上述2根第一臂之间，

上述第一臂与上述第二臂相比，前端部的质量较大，

上述谐振器还具备调整膜，该调整膜被设置成隔着上述第一电极而与上述压电膜的上述上表面对置，并且，在上述3根以上的振动臂中的每根振动臂上至少在上述前端部露出，

形成于上述第一臂的调整膜与形成于上述第二臂的调整膜相比厚度较大，并且，在上述3根以上的振动臂排列的方向上，形成于上述第一臂的调整膜的内侧的端部与外侧的端部相比厚度较小。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

上述第一臂与上述第二臂相比，至少前端部的厚度较大。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

还具备保护膜，该保护膜被设置成隔着上述第一电极而与上述压电膜的上述上表面对置，并且，从上述振动臂遍及上述基部设置。

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中，

上述调整膜由通过蚀刻的质量减少的速度比上述保护膜快的材料形成。

5.根据权利要求3所述的谐振器，其中，

上述保护膜是绝缘体，上述调整膜是金属。

6.根据权利要求4所述的谐振器，其中，

上述保护膜是绝缘体，上述调整膜是金属。

7.一种谐振装置，具备：

权利要求1～6中任一项所述的谐振器；

盖体，覆盖上述谐振器；以及

外部电极。