[发明专利]谐振器以及谐振装置

说明书

在本发明的谐振器中，改善DLD。具有：基部；以及3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于第一电极与第二电极之间，且具有与第一电极对置的上表面，并在电压施加于第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向远离前端的方向延伸的开放端，3根以上的振动臂具有：2根第一臂，在3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及1根以上的第二臂，夹在2根第一臂之间，第一臂与第二臂相比质量较大。

技术领域

本发明涉及谐振器以及谐振装置。

背景技术

以往，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的谐振装置例如被用作计时设备。该谐振装置安装在组装于智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备：下侧基板；上侧基板，在与下侧基板之间形成空腔；以及谐振器，在下侧基板以及上侧基板之间配置于空腔内。

例如在专利文献1中公开了具备多个振动臂的谐振器。在该谐振器中，振动臂在其固定端连接于基部的前端，基部在与前端相反的一侧的后端连接于支承部。在专利文献1所记载的谐振器中，基部通过其长度(从前端朝向后端的方向)相对于宽度设定得较小，而成为基部本身容易弯曲位移的构造。由此实现了DLD(Drive Level Dependency：激励功率依赖性)的改善。

专利文献1：国际公开第2016/175218号

然而，在专利文献1所记载的技术中，尽管实现了DLD的改善，但另一方面，例如存在保持变得不稳定的可能性，为了更适当地改善DLD，还存在进一步研究的余地。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，以在谐振器中改善DLD为目的。

本发明的一方面所涉及的谐振器具有：基部；以及3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于第一电极与第二电极之间，且具有与第一电极对置的上表面，并在电压施加于第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向远离前端的方向延伸的开放端，3根以上的振动臂具有：2根第一臂，在3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及1根以上的第二臂，夹在2根第一臂之间，第一臂与第二臂相比质量较大。

根据本发明，以在谐振器中改善DLD为目的。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是示意性地示出本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。

图3是取下上盖后的本发明的第一实施方式所涉及的谐振器的俯视图。

图4是沿着图3的AA’线的剖视图。

图5是示出本发明所涉及的谐振器与DLD的关系的图表。

图6是本发明的第二实施方式所涉及的谐振器的剖视图。

图7是本发明的第三实施方式所涉及的谐振器的剖视图。

具体实施方式

[第一实施方式]

以下，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是示意性地示出本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置1的外观的立体图。另外，图2是示意性地示出本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置1的构造的分解立体图。

该谐振装置1具备谐振器10、以及设置为隔着谐振器10相互对置的盖体(上盖30以及下盖20)。即，谐振装置1通过下盖20、谐振器10、以及上盖30依次层叠而构成。