[发明专利]谐振器以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振器，具备：

振动部，具备基板和一个以上的电极，所述基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，所述电极形成于所述基板的所述主面，所述振动部根据对所述电极施加的电压进行伸缩振动，所述伸缩振动以沿着所述宽度方向的振动作为主振动；

保持部，被设置成包围所述振动部的至少一部分；以及

保持臂，将所述振动部和所述保持部连接，

所述振动部具有位于所述长度方向的端部的所述宽度方向的宽度Wo，

所述振动部具有至少一处以上的异形部，所述异形部在所述宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于所述长度方向上的对置的一对端部之间的、与所述宽度Wo不同的宽度Wm，

所述振动部具有位于所述宽度方向的端部的所述长度方向的长度L，

所述振动部根据所述长度L与所述宽度Wo的比亦即长宽比L/Wo的值沿着所述长度方向形成有一个以上的振动区域，

所述异形部形成在所述一个以上的振动区域各自的长度方向上的中央附近，

在所述振动部中，基于所述长宽比L/Wo的值来决定形成所述伸缩振动的节的区域，

在所述振动部中的所述宽度方向的中央所述长度方向上的伸缩振动的位移量为正的所述长宽比L/Wo的值的第一数值范围内，所述异形部被设定为宽度Wm，其中，Wm＜Wo。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

所述基板包含硅，

所述振动部还具有形成在所述基板与所述电极之间的压电体层，

所述压电体层被构成为根据对所述电极施加的电压在沿着所述基板的所述主面的平面内进行伸缩振动，

在所述第一数值范围内，在将形成于所述振动部的振动区域的数量设为n时，所述长宽比L/Wo的值被设定为1.0n≤L/Wo＜1.45n的范围。

3.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

在所述振动部中，

在将所述振动部中的每个所述振动区域的长宽比设为有效长宽比x、将所形成的振动区域的数量设为n时，该有效长宽比x被设定为：

[式7]

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中，

在所述振动部中，

所述长度方向或者所述宽度方向是沿着形成所述基板的硅的[100]面的方向，

所述振动部的体积Vm相对于所述长度L、所述宽度Wo以及所述振动部的厚度T的积Vo被设定为：

0.13x+0.73≤Vm/Vo≤0.58x+0.26。

5.根据权利要求3所述的谐振器，其中，

在所述振动部中，

所述长度方向或者所述宽度方向是沿着形成所述基板的硅的[110]面的方向，

所述异形部的宽度Wm相对于所述振动部的宽度Wo被设定为：

0.16x+0.56≤Wm/Wo≤0.25x+0.63。

6.根据权利要求3所述的谐振器，其中，

在所述振动部中，

所述长度方向或者所述宽度方向是沿着形成所述基板的硅的[110]面的方向，

所述振动部的体积Vm相对于所述长度L、所述宽度Wo以及所述振动部的厚度T的积Vo被设定为：

0.08x+0.77≤Vm/Vo≤0.14x+0.84。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的谐振器，其中，

所述保持臂在所述振动部中的所述长度方向的端部与所述宽度方向的中央部连接。