[发明专利]谐振器以及谐振装置

说明书

本发明涉及谐振器以及谐振装置，能够在任意的长宽比提高限制性。谐振器具备：振动部，具有基板和一个以上的电极，基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，电极形成在遍及基板的主面中的至少长度方向的大致整个区域的区域，振动部根据对电极施加的电压，进行以沿着宽度方向的振动为主振动的伸缩振动；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有位于长度方向的端部的宽度方向的宽度(Wo)，并且具有至少一处以上的异形部，异形部在宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于长度方向上的对置的一对端部之间的、与宽度(Wo)不同的宽度(Wm)。

技术领域

本发明涉及以轮廓振动模式振动的谐振器以及谐振装置。

背景技术

以往，使用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的谐振器例如被用作定时设备。该谐振器安装于组装到智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。对于MEMS谐振器而言，存在多个振动模式，但在MHz频带中通常使用轮廓振动模式。

已知：在谐振器的技术中，振动的限制性是重要的特性之一，并且在轮廓振动模式中，在规定的长宽比(长度方向相对于宽度方向的大小)，谐振器的端面成为节点，限制性提高(例如专利文献1)。

专利文献1：日本专利第3139274号公报

然而，在将基于振动的位移相对较大的方向设为宽度方向，将位移相对较小的方向设为长度方向的情况下，谐振器的频率大体上由宽度方向的尺寸决定。因此，在考虑到谐振器的小型化的情况下，为了获得所希望的频率而需要减小长宽比，但此时，存在根据所选择的长宽比而限制性并不适当的情况。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于在任意的长宽比，提高限制性。

本发明的一个方面所涉及的谐振器具备：振动部，具有基板和一个以上的电极，基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，电极形成于基板的主面，振动部根据对电极施加的电压进行以沿着宽度方向的振动为主振动的伸缩振动；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有位于长度方向的端部的宽度方向的宽度Wo，振动部具有至少一处以上的异形部，异形部在宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于长度方向上的对置的一对端部之间的、与宽度Wo不同的宽度Wm。

根据本发明，能够在任意的长宽比，提高限制性。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是示意性地表示本发明的实施方式所涉及的谐振装置的结构的分解立体图。

图3A是取下上侧基板后的本发明的实施方式所涉及的谐振器的俯视图。

图3B是取下上侧基板后的本发明的实施方式所涉及的谐振器的俯视图。

图4A是沿着图3A的AA′线的剖视图。

图4B是沿着图3A的BB′线的剖视图。

图5是表示使用了本发明的实施方式所涉及的谐振器的实验结果的图示。

图6A是取下上侧基板后的本发明的实施方式所涉及的谐振器的俯视图。

图6B是取下上侧基板后的本发明的实施方式所涉及的谐振器的俯视图。

图7A是表示使用了本发明的实施方式所涉及的谐振器的实验结果的图示。

图7B是表示使用了本发明的实施方式所涉及的谐振器的实验结果的图示。

图8A是表示使用了本发明的实施方式所涉及的谐振器的实验结果的图示。