[发明专利]弹性波装置、分波器以及通信装置

说明书

弹性波装置具有：基板(3)、位于所述基板(3)上的多层膜(5)、位于所述多层膜(5)上且由LiTaOsubgt;3/subgt;构成的单晶的LT层(7)、以及位于所述LT层(7)上的IDT电极(19)。所述多层膜(5)中，从将具有比所述LT层(7)的横波声速高的声速的膜的密度与厚度相乘的值的合计值，减去将具有比所述LT层(7)的横波声速慢的声速的膜的密度与厚度相乘的值的合计值而得到的差值D为负，在将所述IDT电极(19)的电极指的间距设为p时，所述LT层(7)的厚度小于2p。

技术领域

本公开涉及利用弹性波的电子部件即弹性波装置、包含该弹性波装置的分波器以及通信装置。

背景技术

已知一种弹性波装置，对压电体上的IDT(interdigital transducer：叉指换能器)电极施加电压，从而产生在压电体中传播的弹性波。IDT电极具有一对梳齿电极。一对梳齿电极分别具有多个电极指(相当于梳子的齿)，被配置为相互啮合。在弹性波装置中，形成将电极指的间距的2倍作为波长的弹性波的驻波，该驻波的频率成为谐振频率。因此，弹性波装置的谐振点由电极指的间距进行规定。

国际公开第2012/086639号中作为弹性波装置提出了如下方案，其具有：基板、位于基板上的高声速膜和多层膜、位于高声速膜上的低声速膜、位于低声速膜上的压电体层、以及位于压电体层上的IDT电极。根据该弹性波装置，通过配置多层膜从而能够将弹性波限获于压电体膜，因此能够实现较高的Q值。

发明内容

期望提供Q值较高的弹性波装置、分波器以及通信装置。

本公开的一方式所涉及的弹性波装置具有：基板、位于所述基板上的多层膜、位于所述多层膜上且包含LiTaO₃的单晶的LT层、以及位于所述LT层上的IDT电极。并且，所述多层膜中，从将具有比所述LT层的横波声速高的声速的膜的密度与厚度相乘的值的合计值，减去将具有比所述LT层的横波声速慢的声速的膜的密度与厚度相乘的值的合计值而得到的差值为负。再有，在将所述IDT电极的电极指的间距设为p时，所述LT层的厚度小于2p。

本公开的一方式所涉及的分波器具有：天线端子、对输出至所述天线端子的信号进行滤波的发送滤波器、对从所述天线端子输入的信号进行滤波的接收滤波器，所述发送滤波器以及所述接收滤波器的至少一方包含上述弹性波装置。

本公开的一方式所涉及的通信装置具有：天线、所述天线端子被连接于所述天线的上述分波器、以及相对于所述发送滤波器以及所述接收滤波器在信号路径上被连接于与所述天线端子相反的一侧的IC。

根据上述结构，能够提供Q值高的弹性波元件。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的弹性波装置的俯视图。

图2是图1的弹性波装置的II-II线处的剖视图。

图3的(a)、图3的(b)以及图3的(c)是分别表示基板结构的模拟结果的图。

图4是表示基板结构的模拟结果的图。

图5是表示基板结构的频率特性的图表。

图6是表示比较例所涉及的弹性波装置的频率特性的图表。

图7的(a)、图7的(b)以及图7的(c)是分别表示基板结构与比较例所涉及的弹性波装置的相位特性的图表。

图8的(a)、图8的(b)以及图8的(c)是表示模型1～模型3的固定基板的结构的示意性剖视图。

图9是表示模型1的模拟结果的图。

图10是表示模型2的模拟结果的图。

图11是表示模型3的模拟结果的图。