[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

支承基板；

声反射层，直接或者间接地层叠在所述支承基板上；

压电层，直接或者间接地层叠在所述声反射层上；

一个以上的IDT电极，直接或者间接地形成在所述压电层上；和

布线电极，直接或者间接地形成在所述压电层上，并与所述一个以上的IDT电极电连接，

所述声反射层具有：

第1电介质层；

第2电介质层，配置在比所述第1电介质层更靠所述支承基板侧，声阻抗比所述第1电介质层高；和

金属层，配置在比所述第1电介质层更靠所述压电层侧，声阻抗比所述第1电介质层高，

在俯视所述声反射层的情况下，所述金属层在包含所述一个以上的IDT电极中的一个IDT电极和与该一个IDT电极连接的布线电极、并且不包含该一个IDT电极以外的IDT电极的区域中，所述金属层的形成面积比所述第2电介质层的形成面积小。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述一个以上的IDT电极各自由一对梳齿状电极构成，

所述压电层的膜厚为IDT波长以下，该IDT波长是构成所述一对梳齿状电极中的一个梳齿状电极的多个电极指的重叠间距。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述声反射层还具有：

第3电介质层，配置在所述金属层与所述压电层之间，声阻抗比所述金属层低。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

所述第3电介质层的膜厚与所述第1电介质层的膜厚不同。

5.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述声反射层具有在所述压电层的垂线方向上层叠的多个所述金属层、以及在所述垂线方向上层叠的多个所述第2电介质层中的至少一方，

在多个所述金属层之间分别配置有声阻抗比所述金属层低的第4电介质层，

在多个所述第2电介质层之间分别配置有声阻抗比所述第2电介质层低的第5电介质层。

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

所述第4电介质层的膜厚与所述第5电介质层的膜厚不同。

7.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述金属层由Pt或者W构成。

8.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述第1电介质层由硅氧化物构成。

9.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述第2电介质层由Ta₂O₅构成。

10.一种高频前端电路，具备：

权利要求1～9中任一项所述的弹性波装置；和

放大电路，与所述弹性波装置连接。

11.一种通信装置，具备：

权利要求10所述的高频前端电路；和

信号处理电路，对高频信号进行处理。