[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

说明书

弹性波装置(1)依次层叠支承基板(51)、声反射层(56)、压电层(52)、和由一对梳齿状电极构成的IDT电极(110)以及布线电极(41以及42)，声反射层(56)具有低Z电介质层(53B)、配置在低Z电介质层(53B)的下方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的高Z电介质层(55)、以及配置在低Z电介质层(53B)的上方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的金属层(54)，在俯视声反射层(56)的情况下，金属层(54)在包含IDT电极(110)和布线电极(41a、41b、42a以及42b)并且不包含IDT电极(110)以外的IDT电极的区域中，金属层(54)的形成面积比高Z电介质层(55)的形成面积小。

技术领域

本发明涉及具有IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

背景技术

以往，具有弹性波谐振器的弹性波装置广泛用于移动体通信设备的带通滤波器等。

在专利文献1中公开了一种依次层叠有基板、声反射器、压电膜和IDT电极以及汇流条电极的弹性波装置。声反射器具有声阻抗不同的膜交替地堆叠的构造。由此，能够将作为高频传播手段而利用的弹性波封闭在声反射器的上方，即使在超过3GHz的频率下也能够设计低损耗以及小型的弹性波装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2008-530874号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1所公开的具有声反射器的弹性波装置的情况下，若作为构成声反射器的膜而使用金属膜，则在形成于压电膜上的IDT电极、汇流条电极以及布线电极与构成声反射器的金属膜之间会产生不想要的电容成分。存在由于该电容成分而使得弹性波的高频传播特性恶化的课题。

本发明正是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种在排除声反射层所引起的不必要的电容成分的同时降低了弹性波传播损耗的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

用于解决课题的手段

为了达成上述目的，本发明的一方式涉及的弹性波装置具备：支承基板；声反射层，直接或者间接地层叠在所述支承基板上；压电层，直接或者间接地层叠在所述声反射层上；一个以上的IDT电极，直接或者间接地形成在所述压电层上；和布线电极，直接或者间接地形成在所述压电层上，并与所述一个以上的IDT电极电连接，所述声反射层具有：第1电介质层；第2电介质层，配置在比所述第1电介质层更靠所述支承基板侧，声阻抗比所述第1电介质层高；和金属层，配置在比所述第1电介质层更靠所述压电层侧，声阻抗比所述第1电介质层高，在俯视所述声反射层的情况下，所述金属层在包含所述一个以上的IDT电极中的一个IDT电极和与该一个IDT电极连接的布线电极、并且不包含该一个IDT电极以外的IDT电极的区域中，所述金属层的形成面积比所述第2电介质层的形成面积小。

由此，通过将声阻抗比第1电介质层高的金属层配置为在上述俯视下夹着压电层包含IDT电极，从而能够在对由该IDT电极以及压电层形成的弹性波谐振器附加适合的电容成分的同时将弹性波的主模式封闭在金属层的上方。此外，在上述俯视下，金属层未配置为包含布线电极，因此能够降低由布线电极和金属层形成的不必要的电容成分。另一方面，关于未形成金属层的区域中的弹性波的主模式向下方的泄漏，在形成面积比金属层大且声阻抗比第1电介质层高的第2电介质层的表面向上方反射，因此能够降低该弹性波的传播损耗。也就是说，能够将弹性波的主模式封闭在金属层的上方，排除不必要的电容成分而降低弹性波传播损耗。

此外，也可以是，所述一个以上的IDT电极各自由一对梳齿状电极构成，所述压电层的膜厚为IDT波长以下，该IDT波长是构成所述一对梳齿状电极中的一个梳齿状电极的多个电极指的重叠间距。

由此，弹性波的利用效率被最佳化，因此能够提高弹性波传播特性。