[发明专利]光学组件

权利要求书

1.一种光学组件，其特征在于，包括：

包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；

分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；

使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至所述分束器单元的光入射部；

第1光检测器，其配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧，检测从所述分束器单元出射的所述检测光的干涉光；

用于安装所述反射镜单元的支承体；

用于支承所述分束器单元的第1支承结构；和

安装于所述支承体的、用于支承所述第1光检测器的第2支承结构，

所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元和所述第1光检测器沿所述第1方向以所述支承体、所述反射镜单元、所述分束器单元、所述第1光检测器的顺序配置。

2.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

所述第1支承结构安装于所述支承体。

3.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

所述第1支承结构的至少一部分由所述反射镜单元构成。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述分束器单元具有第1反射镜面和第2反射镜面，所述第1反射镜面相对于所述第1方向倾斜且在所述第1方向上与所述固定反射镜相对，所述第2反射镜面与所述第1反射镜面平行且在所述第1方向上与所述可动反射镜相对，

所述第1反射镜面具有将入射光的一部分反射并使所述入射光的剩余部分透射的功能，

所述第2反射镜面具有将入射光反射的功能。

5.如权利要求4所述的光学组件，其特征在于：

所述第1光检测器以在所述第1方向上与所述分束器单元的所述第1反射镜面相对的方式，配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

还具有配置在所述分束器单元与所述第1光检测器之间的开口部件，

所述开口部件被所述第2支承结构支承。

7.如权利要求1～6中的任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述光入射部配置在与所述第1方向交叉的第2方向上的所述分束器单元的一侧，

所述光入射部被所述第2支承结构支承。

8.如权利要求1～7中的任一项所述的光学组件，其特征在于，还包括：

出射要入射到所述分束器单元的激光的第2光源；

检测从所述分束器单元出射的所述激光的干涉光的第2光检测器，

所述第2光源和所述第2光检测器被所述第2支承结构支承。

9.如权利要求8所述的光学组件，其特征在于：

还包括被所述第2支承结构支承的第1反射镜、第2反射镜和第3反射镜，

所述第2支承结构支承构成所述第1光检测器的第1光学器件、构成所述第2光源和所述第2光检测器中的一者的第2光学器件以及构成所述第2光源和所述第2光检测器中的另一者的第3光学器件，使得所述第1光学器件、所述第2光学器件和所述第3光学器件朝向所述第1方向上的另一侧，并使得按所述第1光学器件、所述第2光学器件、所述第3光学器件的顺序排列，

所述第1反射镜是相对于所述第1光学器件的光轴倾斜的二向色镜，具有使所述检测光透射且将所述激光反射的功能，以与所述分束器单元和所述第1光学器件相对的方式配置，

所述第2反射镜是与所述第1反射镜平行的反射镜，具有将所述激光的一部分反射且使所述激光的剩余部分透射的功能，以与所述第1反射镜和所述第2光学器件相对的方式配置，

所述第3反射镜是与所述第2反射镜平行的反射镜，具有将所述激光反射的功能，以与所述第2反射镜和所述第3光学器件相对的方式配置。