[发明专利]光学组件

说明书

本发明的光学组件(1)包括：包括基体(21)、可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)；配置在Z轴方向上的反射镜单元(2)的一侧的分束器单元(3)；使检测光(L0)入射至分束器单元(3)的光入射部(4)；配置在Z轴方向上的分束器单元(3)的一侧，检测从分束器单元(3)出射的检测光的干涉光(L1)的第1光检测器(6)；用于安装反射镜单元(2)的支承体(9)；用于支承分束器单元(3)的第1支承结构(11)；和安装于支承体(9)的、支承第1光检测器(6)的第2支承结构(12)。

技术领域

本发明涉及光学组件。

背景技术

作为由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基片构成的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微机电系统)器件，已知有构成干涉光学系统的各部在SOI基片形成的光学组件(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-524295号公报

发明内容

发明所要解决的问题

上述那样的光学组件由于能够提供高精度的FTIR(傅立叶变换型红外光谱仪)而受到瞩目。

本发明的目的在于提供能够以简易的结构实现高精度的光谱分析的光学组件。

用于解决问题的方式

本发明的一个方面的光学组件包括：包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中可动反射镜以能够沿与第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于基体，固定反射镜相对于基体的位置被固定；分束器单元，其配置在第1方向上的反射镜单元的一侧，与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统；使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至分束器单元的光入射部；第1光检测器，其配置在第1方向上的分束器单元的一侧，检测从分束器单元出射的检测光的干涉光；用于安装反射镜单元的支承体；用于支承分束器单元的第1支承结构；和安装于支承体的、用于支承第1光检测器的第2支承结构。

在该光学组件中，在同一支承体安装包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元以及支承第1光检测器的第2支承结构。由此，可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元安装于支承体，支承第1光检测器的第2支承结构安装于反射镜单元或第1支承结构的结构”相比，不易在可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

在本发明的一个方面的光学组件中，第1支承结构也可以安装于支承体。在这种情况下，包含可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元、支承分束器单元的第1支承结构以及支承第1光检测器的第2支承结构安装于同一支承体。由此，分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系以支承体为基准设定。因此，例如与“包括可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元安装于支承体，支承分束器单元的第1支承结构安装于反射镜单元，支承第1光检测器的第2支承结构安装于第1支承结构的结构”相比，不易在分束器单元、可动反射镜、固定反射镜和第1光检测器的相互的位置关系中产生偏离。由此，根据该光学组件，能够以简易的结构实现高精度的光谱分析。

在本发明的一个方面的光学组件中，第1支承结构的至少一部分也可以由反射镜单元构成。由此，能够实现结构的简化。