[发明专利]光学装置及其制造方法

说明书

本发明将提供一种能够抑制粘附的产生并且能够使可动部沿着规定方向大幅移动的光学装置及其制造方法作为目的。本发明的光学装置(10)具备：基座(12)；可动部(11)，其具有光学功能部(11a)；弹性支撑部(14、15)，其以可动部(11)能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极(161)，其设置于基座(12)；及第2梳齿电极(162)，其设置于可动部(11)及弹性支撑部(14、15)的至少一者且具有多个第2梳齿。弹性支撑部(14、15)具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒(147、157)、及连接有扭力棒(147、157)的杆(141、151)。第2梳齿电极(162)设置于可动部及弹性支撑部的至少一者中位于较扭力棒(147、157)更靠光学功能部(11a)侧的部分。相邻的第1梳齿(161a)与第2梳齿(162a)在第2方向、或与第1方向及第2方向垂直的第3方向中可动部的外力耐受性高的方向上彼此相对。

技术领域

本发明涉及一种作为例如MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))装置而构成的光学装置及其制造方法。

背景技术

作为MEMS装置，已知有如下光学装置，其具备：基座；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，以可动部能够沿着规定方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其设置于基座，且具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其设置于弹性支撑部，且具有与多个第1梳齿相互交替地配置的多个第2梳齿(例如参照专利文献1)。在此种光学装置中，有弹性支撑部包含当可动部沿着规定方向移动时发生扭转变形的扭力棒而构成的情况。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：Thilo Sandner,Thomas Grasshoff,Harald Schenk，and AndreasKenda,Out-of-plane translatory MEMS actuator with extraordinary large strokefor optical path length modulation in miniaturized FTIR Spectrometers,SENSOR+TEST Conferences 2011,Proceedings IRS2,pp.151-156

发明内容

发明所要解决的问题

在如上所述的光学装置中，若以可动部沿着规定方向大幅移动的方式构成弹性支撑部，则有在与规定方向垂直的方向上可动部也容易移动的倾向。若在与规定方向垂直的方向上可动部容易移动，则有产生第2梳齿接触于与之相邻的第1梳齿的现象(所谓粘附(sticking))而妨碍可动部沿着规定方向的移动的担忧。

本发明的目的在于提供一种能够抑制粘附的产生并且能够使可动部沿着规定方向大幅移动的光学装置及其制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的光学装置具备：基座；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其设置于基座，且具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其设置于可动部及弹性支撑部的至少一者，且具有与多个第1梳齿相互交替地配置的多个第2梳齿；弹性支撑部具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒、及连接有扭力棒的杆，第2梳齿电极设置于可动部及弹性支撑部的至少一者中位于较扭力棒更靠近光学功能部侧的部分，且相邻的第1梳齿与第2梳齿在第2方向、或与第1方向及第2方向垂直的第3方向中可动部的外力耐受性较高的方向上彼此相对。