[发明专利]弹簧针连接器用的探针组件、其制造方法及弹簧针连接器

权利要求书

1.一种弹簧针连接器用的探针组件，用于测试插座中，所述探针组件被配置成至少局部地插入管中，所述管具有内部空间，所述探针组件包括：

至少一个接触部分，在一个端上具有尖的末端，在另一端上具有平的末端，且被配置成接触测试目标物件的端子，其中所述至少一个接触部分包括两个或更多个接触部分，所述两个或更多个接触部分彼此间隔开；

第一本体部分，具有多边形柱或圆形柱形状，所述至少一个接触部分的所述另一端一体地耦合至所述第一本体部分的一个端的上平坦表面；以及

第二本体部分，具有多边形柱或圆形柱形状，所述第一本体部分的另一端耦合至所述第二本体部分的一个端，

其中所述至少一个接触部分包含硬度高于所述第一本体部分及所述第二本体部分的材料，且所述第一本体部分及所述第二本体部分中的每一者包含电导率等于或大于国际退火铜标准的50%的材料，

其中所述两个或更多个接触部分中的相邻的接触部分之间的距离为15微米或大于15微米。

2.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述至少一个接触部分包含镍或镍合金。

3.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述第一本体部分或所述第二本体部分包含含有选自由以下组成的群组中的至少一种元素的材料：铜、金、银、碳、铂、钌、钨、铝、锡及铑。

4.根据权利要求2所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述镍合金包含镍及选自由以下组成的群组中的至少一种合金元素：碳、硼、钨、锰、钛、钯、氧、钴、银、铟、镓及稀土元素。

5.根据权利要求4所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中以所述镍合金的100重量份计，所述镍合金包含0.1重量份至50重量份的所述至少一种合金元素。

6.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述至少一个接触部分具有等于或大于700维氏硬度的硬度，且所述第一本体部分及所述第二本体部分中的每一者具有50维氏硬度至700维氏硬度的硬度。

7.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述第一本体部分与所述第二本体部分交替地堆叠。

8.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述至少一个接触部分具有四角锥形状，且所述四角锥形状的侧表面具有顶角为50°至90°的等边三角形形状。

9.根据权利要求1所述的弹簧针连接器用的探针组件，其中所述至少一个接触部分具有650微米或小于650微米的高度。

10.一种弹簧针连接器用的探针组件的制造方法，所述弹簧针连接器用的探针组件用于测试插座中，所述探针组件被配置成至少局部地插入管中，所述管具有内部空间，所述方法包括：

在牺牲基板中形成至少一个第一孔，所述至少一个第一孔在一个端上具有尖的末端；

通过在所述第一孔中填充第一堆叠材料并将所述第一堆叠材料平面化来形成接触部分；

将第一干膜放置于所述牺牲基板的上表面上且在所述第一干膜中形成第二孔以暴露出所述接触部分，所述第二孔具有多边形柱或圆形柱形状；

通过在所述第二孔中填充第二堆叠材料并将所述第二堆叠材料平面化来形成第一本体部分；

将第二干膜放置于所述第一干膜的上表面上且在所述第二干膜中形成第三孔以暴露出所述第一本体部分，所述第三孔具有多边形柱或圆形柱形状；以及

通过在所述第三孔中填充第三堆叠材料并将所述第三堆叠材料平面化来形成第二本体部分，

其中所述第一堆叠材料具有较所述第二堆叠材料及所述第三堆叠材料的硬度高的硬度，

所述第二堆叠材料及所述第三堆叠材料具有等于或大于国际退火铜标准的50%的电导率，且

所述接触部分形成为两个或更多个接触部分，所述两个或更多个接触部分彼此间隔开，且其中所述两个或更多个接触部分中的相邻的接触部分之间的距离为15微米或大于15微米。