[发明专利]已完成填充的容器的制造方法以及已完成填充的容器

权利要求书

1.一种已完成填充的容器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度R_max为10μm以下；

氟化工序，在50℃以下，使所述保存容器的内表面与包含选自由ClF₃、IF₇、BrF₅、F₂和WF₆组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；

置换工序，对所述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，

填充工序，在所述保存容器的内部填充选自由ClF₃、IF₇、BrF₅、F₂和WF₆组成的组中的至少一种第2含氟气体，

其中，从已完成填充的容器取出的所述含氟气体中的金属杂质中所含的金属元素的含量低于10质量ppb。

2.根据权利要求1所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述第1含氟气体为F₂气体。

3.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述第2含氟气体为ClF₃气体或IF₇气体。

4.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述保存容器的内表面的表面粗糙度R_max为1μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述锰钢包含97质量％以上的铁。

6.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述第1含氟气体为F₂气体，所述第2含氟气体为ClF₃气体或IF₇气体。

7.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述第1含氟气体为F₂气体，所述第2含氟气体为WF₆气体。

8.根据权利要求1或2所述的已完成填充的容器的制造方法，其中，所述第1含氟气体为ClF₃气体，所述第2含氟气体为ClF₃气体。

9.一种已完成填充的容器，其特征在于，其为在金属制的保存容器中填充有选自由ClF₃、IF₇、BrF₅、F₂和WF₆组成的组中的至少一种含氟气体的已完成填充的容器，

所述保存容器如下：至少内表面由锰钢构成，且该内表面的表面粗糙度R_max为10μm以下，

在所述保存容器的内部的与所述含氟气体接触的表面，以距离最表面为10nm的范围的平均值计，氟原子F与铁原子Fe的摩尔比F/Fe为0.01以上且低于3，氧原子O与铁原子Fe的摩尔比O/Fe为1以下。

10.根据权利要求9所述的已完成填充的容器，其中，从已完成填充的容器取出的所述含氟气体中的金属杂质中所含的金属元素的含量低于10质量ppb。

11.根据权利要求9或10所述的已完成填充的容器，其中，所述摩尔比F/Fe为0.1以上且2.5以下。

12.根据权利要求9或10所述的已完成填充的容器，其中，所述含氟气体为ClF₃气体或IF₇气体。

13.根据权利要求9或10所述的已完成填充的容器，其中，所述保存容器的内表面的表面粗糙度R_max为1μm以下。