[发明专利]在成像技术中估计振幅及相位不对称性以在叠加计量中达到高精准度

权利要求书

1.一种用于叠加计量的方法，其包括：

使用处理器通过识别其中对应计量测量信号具有最小振幅不对称性的至少一个计量测量参数的值而导出所述至少一个计量测量参数的所述值，其中所述识别包含扫描测量波长和/或测量焦点位置的至少一个范围，其中扫描所述测量波长是在模拟中执行以确定作为第一参数值的波长，且所述测量焦点的所述扫描是在目标测量期间执行以确定作为第二参数值的焦点位置；及

配置计量工具以按所述至少一个测量参数执行成像目标测量。

2.根据权利要求1所述的用于叠加计量的方法，其应用到成像计量及成像计量目标。

3.根据权利要求1所述的用于叠加计量的方法，其中所述识别是参考所述测量波长而执行的。

4.根据权利要求1所述的用于叠加计量的方法，其中所述识别是参考所述测量焦点位置而执行的。

5.根据权利要求1所述的用于叠加计量的方法，其中所述识别是参考所述测量波长和所述测量焦点位置而执行的。

6.一种用于叠加计量的方法，其包括：

使用处理器识别其中从成像目标测量的信号中的振幅不对称性经最小化的至少一个测量参数值，从而产生至少一个经识别值，其中所述识别包含扫描测量波长和/或测量焦点位置的至少一个范围，其中扫描所述测量波长是在模拟中执行以确定作为第一参数值的波长，且所述测量焦点的所述扫描是在目标测量期间执行以确定作为第二参数值的焦点位置，及

配置计量工具以按所述至少一个测量参数值执行成像目标测量。

7.根据权利要求6所述的用于叠加计量的方法，其中所述识别是参考作为所述至少一个测量参数的所述波长而执行的，所述方法进一步包括扫描指定波长范围以识别其中所述振幅不对称性经最小化的所述经识别值。

8.根据权利要求6所述的用于叠加计量的方法，其中所述识别是参考作为所述至少一个测量参数的所述波长及所述焦点位置而执行的，所述方法进一步包括扫描指定波长及焦点范围以识别其中对应光栅位置在经最小化的波长下提供振幅不对称性的所述焦点位置及所述波长。

9.一种非暂时性计算机可读存储媒体，所述非暂时性计算机可读存储媒体具有与其一起体现的计算机可读程序，所述计算机可读程序经配置以执行根据权利要求1的方法。

10.一种用于叠加计量的系统，其包括：

计量模块，其包含处理器，其中所述计量模块经配置以通过识别其中对应计量测量信号具有最小振幅不对称性的至少一个计量测量参数的值而导出所述至少一个计量测量参数的所述值，

其中所述识别包含扫描测量波长和/或测量焦点位置的至少一个范围，其中扫描所述测量波长是在模拟中执行以确定作为第一参数值的波长，且所述测量焦点的所述扫描是在目标测量期间执行以确定作为第二参数值的焦点位置；及

计量系统，其包含所述计量模块，其中所述计量系统经配置以成像计量目标。

11.根据权利要求10所述的用于叠加计量的系统，其中所述计量模块应用到成像计量及成像计量目标。

12.根据权利要求10所述的用于叠加计量的系统，其中所述识别是参考所述测量波长而执行的。

13.根据权利要求10所述的用于叠加计量的系统，其中所述识别是参考所述测量焦点位置而执行的。

14.根据权利要求10所述的用于叠加计量的系统，其中所述识别是参考所述测量波长和所述测量焦点位置而执行的。