[发明专利]弹性波元件

说明书

弹性波元件(1)具备：IDT电极(3)，具备多个电极指(32)并激发声表面波；第一基板(10)，所述IDT电极(3)位于所述第一基板(10)的上表面(10a)且第一基板(10)包含压电晶体；以及第二基板(20)，被接合至所述第一基板(10)的下表面(10b)侧，从所述第一基板(10)的下表面(10b)起朝着上表面(10a)侧连续的第一区域(50x)或者从所述第一基板(10)的下表面(10b)起朝着所述第二基板(20)侧连续的第二区域(50b)中的任一者成为薄膜电阻为5×10supgt;3/supgt;Ω以上且5×10supgt;7/supgt;Ω以下的低电阻区域(50)。

技术领域

本公开涉及弹性波元件。

背景技术

以往，公知以改善电气特性作为目的，在将支承基板与压电基板粘贴而成的复合基板上设置电极来制作弹性波元件。在此，弹性波元件例如被用作为移动电话等通信设备中的带通滤波器。再有，复合基板，公知作为压电基板而使用铌酸锂、钽酸锂，作为支承基板而使用了硅、石英、陶瓷等(参照日本特开2006-319679号公报)。

发明内容

-发明所要解决的技术问题-

然而，近年来，移动体通信中所使用的便携式终端装置的小型化、轻型化正在发展之中，并且为了实现高通信品质，谋求具备更高电气特性的弹性波元件。例如，为了减少输入输出信向邻接信道的泄漏，谋求通带外的特定频带中的衰减特性优异的弹性波元件。

本公开正是鉴于上述那样的课题而进行的，其目的在于，提供一种电气特性优异的弹性波元件。

-用于解决技术问题的手段-

本公开的弹性波元件具备IDT电极、第一基板和第二基板。所述IDT电极具备多个电极指并激发声表面波。对于所述第一基板而言，所述IDT电极位于其上表面，所述第一基板包含压电晶体。所述第二基板被接合于所述第一基板的下表面侧。而且，从所述第一基板的下表面起朝着上表面侧连续的第一区域或者从所述第一基板的下表面起朝着所述第二基板侧连续的第二区域中的任一者成为薄膜电阻为5×10³Ω以上且5×10⁷Ω以下的低电阻区域。

-发明效果-

根据上述结构，能够提供电气特性优异的弹性波元件。

附图说明

图1是本公开涉及的弹性波元件的俯视图。

图2是图1的II-II线中的主要部位放大剖视图。

图3的(a)～图3的(c)分别是表示复合基板60的变形例的主要部位放大剖视图。

图4是表示低电阻区域的薄膜电阻与体波寄生的相位比率的关系的线图。

图5是表示低电阻区域的薄膜电阻与谐振频率一反谐振频率间的相位比的关系的表。

图6的(a)、图6的(b)是表示本公开所涉及的SAW元件及比较例的SAW元件的频率特性的线图。

图7是表示第一基板的厚度与弹性波元件的频率特性的关系的线图。

图8是表示第一基板的厚度及低电阻区域的厚度与体波寄生的衰减率的关系的等高线图。

图9的(a)、图9的(b)是表示实施例及比较例的频率特性的线图。

图10的(a)、图10的(b)是表示实施例及比较例的频率特性的线图。

具体实施方式

以下，使用附图详细地说明本公开的弹性波元件的一例。需要说明的是，以下的说明中所使用的图是示意性的附图，附图上的尺寸比率等未必一定要和现实的尺寸比率一致。