[发明专利]从回收抗蚀剂剥离剂回收二甲基亚砜的方法有效
| 申请号： | 201880046004.X | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110869347B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 马屋原邦男;田村耕司;竹田明展 | 申请（专利权）人： | 株式会社可乐丽 |
| 主分类号： | C07C315/06 | 分类号： | C07C315/06;C07C317/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张毅群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回收 抗蚀剂 剥离 二甲基亚砜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种二甲基亚砜的回收方法，其包括使包含选自3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇、二乙二醇、丙二醇、甘油和2-(2-甲氧基乙氧基)乙醇中的至少1种化合物以及二甲基亚砜的回收抗蚀剂剥离剂与水接触并进行蒸馏的工序，相对于所述回收抗蚀剂剥离剂1质量份，使0.1质量份～100质量份的水与所述回收抗蚀剂剥离剂接触。
2.根据权利要求1所述的回收方法，其中，所述化合物为3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇。
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