[发明专利]化合物、图案形成用基板、偶联剂和图案形成方法在审
申请号: | 201880046689.8 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN110891955A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 川上雄介;山口和夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康;学校法人神奈川大学 |
主分类号: | C07D495/04 | 分类号: | C07D495/04;C07F7/18;G03F7/004;G03F7/075 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 褚瑶杨;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化合物 图案 形成 用基板 偶联剂 方法 | ||
1.一种下述通式(1)所表示的化合物,
[化1]
式中,X01为显示出半导体特性的基团,Y为二价连接基团。
2.如权利要求1所述的化合物,其中,所述X01为具有噻吩骨架的基团。
3.一种图案形成用基板,其具有利用权利要求1或2所述的化合物进行了化学修饰的表面。
4.一种偶联剂,其包含权利要求1或2所述的化合物。
5.一种图案形成方法,其为在对象物的被处理面上形成图案的图案形成方法,该图案形成方法具备下述工序:
第1工序,该工序中,将对象物的被处理面的至少一部分氨基化,形成氨基化面;和
第2工序,该工序中,使用权利要求1或2所述的化合物,对所述氨基化面进行化学修饰。
6.一种图案形成方法,其为在对象物的被处理面上形成图案的方法,该图案形成方法具备下述工序:
工序A,该工序中,使用包含具有光响应性基团的化合物的第1光分解性偶联剂,将所述被处理面的至少一部分氨基化;
工序B,在工序A后,使用含有包含具有半导体特性的基团的化合物的第1偶联剂,在所述被处理面中导入具有半导体特性的基团;和
工序C,在工序B后,使用包含权利要求1或2所述的化合物的第2偶联剂,导入具有半导体特性的基团。
7.如权利要求6所述的图案形成方法,其中,在所述工序C后,具有在形成有图案的区域中配置电子材料的工序D。
8.如权利要求7所述的图案形成方法,其中,所述电子材料包含半导体材料。
9.如权利要求8所述的图案形成方法,其中,所述半导体材料由有机半导体材料分散液形成。
10.如权利要求5~9中任一项所述的图案形成方法,其中,所述对象物为具有可挠性的基板。
11.如权利要求5~10中任一项所述的图案形成方法,其中,所述对象物包含树脂材料。
12.一种下述通式(B1)所表示的化合物,
[化2]
通式(B1)中,X表示卤原子或烷氧基,R1表示氢原子或碳原子数为1~10的直链状、支链状或环状的烷基,R12为具有噻吩骨架的取代基,L为包含(-NH-)和亚甲基的二价连接基团。
13.如权利要求12所述的化合物,其中,所述化合物由下述通式(B1)-1表示,[化3]
通式(B1)-1中,X表示卤原子或烷氧基,R1表示氢原子或碳原子数为1~10的直链状、支链状或环状的烷基,R12为具有噻吩骨架的取代基,n表示0以上的整数。
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