[发明专利]接触式探针及探针单元

权利要求书

1.一种探针单元，其特征在于，包括：

信号用探针，其对规定的电路结构进行信号的输入和输出；

供电用探针，其对所述规定的电路结构提供电力；

接地用探针，其对所述规定的电路结构提供地电位；以及

导电性的探针座，其形成有能够使所述信号用探针、所述供电用探针及所述接地用探针插通，且各自呈相互相同的孔形状的多个孔部，

所述信号用探针、所述供电用探针及所述接地用探针分别具有：

圆筒状的管部件；

轴环，其具有中空部，固定在所述管部件的长度方向的至少一侧的端部的内周侧；以及

内部导体，其具有与由所述管部件及所述轴环形成的台阶部抵接的凸缘部，沿长度方向伸缩自如且贯通所述管部件，

各探针的管部件具有相同外径，

所述信号用探针的所述管部件由具有规定介电常数的介电材料形成，通过调整所述介电常数及所述信号用探针的所述管部件的圆筒形状的外径，以校正所述信号用探针的特性阻抗。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述信号用探针及所述供电用探针的所述管部件具有使用绝缘性材料而形成的绝缘管，

所述接地用探针的所述管部件使用导电性材料而形成。

3.根据权利要求2所述的探针单元，其特征在于，

所述管部件还具有设置在所述绝缘管的内周及外周的导电性被膜层。

4.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述管部件具有：

呈双重管结构的外周侧管及内周侧管；以及

绝缘部件，其分别设置在所述外周侧管与内周侧管之间的轴向两端部，

由所述外周侧管、所述内周侧管及所述绝缘部件形成空气层。

5.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述轴环使用导电性材料而形成。

6.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述轴环分别设置在所述管部件的两端部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的探针单元，其特征在于，

所述探针座中，相邻的所述孔部通过其一部分彼此连通，

所述管部件的至少外周面具有导电性，

分别贯通相邻的所述孔部的各探针的所述管部件在所述孔部的连通部分接触。