[发明专利]接触式探针及探针单元

说明书

本发明涉及的接触式探针包括：圆筒状的管部件；轴环，其具有中空部，固定在管部件的长度方向的至少一侧的端部的内周侧；以及内部导体，其具有与由管部件及轴环形成的台阶部抵接的凸缘部，沿长度方向伸缩自如且贯通管部件。

技术领域

本发明涉及一种接触式探针及探针单元。

背景技术

以往，在与半导体集成电路的电特性检查有关的技术领域中，已知有与相对于半导体集成电路的外部连接用电极配置多个接触式探针(以下，简称探针)的探针单元相关的技术。所涉及的探针单元具备多个探针以及形成有收纳探针的孔部的探针座(例如，参见专利文献1)。

在探针单元中，作为上述的探针，使用了相对于半导体集成电路输入输出电信号的信号用探针、提供电力的供电用探针以及提供地电位的接地用探针。信号用探针、供电用探针以及接地用探针的外径会根据其功能而不同。在专利文献1中，在探针座上，设置有绝缘区块，该绝缘区块对应于探针的配置而形成有与各探针的直径对应的孔即形成上述的孔部的一部分的孔。在探针座中，通过配置与要使用的半导体集成电路的外部连接用电极的配置对应的绝缘区块，能够改变各种探针的配置。

专利文献1:日本特开2016-70863号公报

发明内容

然而，在专利文献1公开的技术中，在要使用的半导体集成电路的外部连接用电极的配置不同时，每次需要准备形成有对应的孔的绝缘区块。其结果，随着可使用的半导体集成电路的外部连接用电极的配置图案增加，绝缘区块的数量也会增加。

本发明鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种接触式探针及探针单元，其能够对于可改变接触式探针的配置的探针座，使该探针座的结构简化。

为了解决上述问题而达到目的，本发明涉及的接触式探针，包括：圆筒状的管部件；轴环，其具有中空部，固定在上述管部件的长度方向的至少一侧的端部的内周侧；以及内部导体，其具有与由上述管部件及上述轴环形成的台阶部抵接的凸缘部，沿长度方向伸缩自如且贯通上述管部件。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述管部件具有使用绝缘性材料而形成的绝缘管。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述管部件还具有设置在上述绝缘管的内周及外周的导电性被膜层。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述管部件使用导电性材料而形成。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述管部件具有：呈双重管结构的外周侧管及内周侧管；以及绝缘部件，其分别设置在上述外周侧管与内周侧管之间的轴向两端部，由上述外周侧管、上述内周侧管及上述绝缘部件形成空气层。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述轴环使用导电性材料而形成。

此外，本发明涉及的接触式探针，在上述发明中，上述轴环分别设置在上述管部件的两端部。

此外，本发明涉及的探针单元，包括：信号用探针，其对规定的电路结构进行信号的输入和输出；供电用探针，其对上述规定的电路结构提供电力；接地用探针，其对上述规定的电路结构提供地电位；以及导电性的探针座，其形成有能够使上述信号用探针、上述供电用探针及上述接地用探针插通，且各自呈相互相同的孔形状的多个孔部，上述信号用探针、上述供电用探针及上述接地用探针分别具有：圆筒状的管部件；轴环，其具有中空部，固定在上述管部件的长度方向的至少一侧的端部的内周侧；以及内部导体，其具有与由上述管部件及上述轴环形成的台阶部抵接的凸缘部，沿长度方向伸缩自如且贯通上述管部件，各探针的管部件具有相同外径。

此外，本发明涉及的探针单元，在上述发明中，上述探针座中，相邻的上述孔部通过其一部分彼此连通，上述管部件的至少外周面具有导电性，分别贯通相邻的上述孔部的各探针的上述管部件在上述孔部的连通部分接触。