[发明专利]蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模

说明书

包括：在铁‑镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层，经由树脂层将金属板接合于玻璃基板的工序；从金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序；将掩模部中的与树脂层相接的面的相反侧的面接合于的掩模框架的工序，该的掩模框架与掩模部相比具有更高的刚性，且形成为将掩模部所包含的多个掩模孔包围的框状；以及从掩模部剥离树脂层及玻璃基板的工序。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模。

背景技术

蒸镀掩模具备接触面和非接触面。接触面是与基板等蒸镀对象接触的面，非接触面是与接触面相反的一侧的面。蒸镀掩模具有多个掩模孔。掩模孔从蒸镀掩模的非接触面贯通至接触面，具备位于非接触面且供蒸镀物质进入的开口即非接触侧开口、以及位于接触面并与蒸镀对象对置的接触侧开口。蒸镀物质从非接触侧开口进入并经过接触侧开口，从而堆积于蒸镀对象。由此，在蒸镀对象上形成遵循接触侧开口的位置、形状的图案(例如参照专利文献1)。

在蒸镀掩模中，为了提高图案中的位置等的精度，使用了从非接触侧开口朝向接触侧开口单调地减小掩模孔的通路面积的技术。另外，近年来，为了提高图案中的膜厚的均匀性，也期望减薄非接触侧开口与接触侧开口的距离、即蒸镀掩模的厚度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－145491号公报

发明内容

发明将要解决的课题

另一方面，在蒸镀掩模的厚度薄的构成中，很难充分地获得蒸镀掩模的机械式的耐性，因此蒸镀掩模的处理显著变难。因此，对于上述蒸镀掩模，强烈要求同时实现图案中的各种精度的提高和蒸镀掩模的操作性的提高的技术。

本发明的目的在于提供能够同时实现通过蒸镀形成的图案中的构造精度的提高、以及蒸镀掩模的操作性的提高的蒸镀掩模的制造方法、显示装置的制造方法及蒸镀掩模。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的蒸镀掩模的制造方法为制造蒸镀掩模的方法，该蒸镀掩模具备从铁-镍系合金制的金属板形成且包含多个掩模孔的掩模部。所述蒸镀掩模的制造方法包括：在铁-镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层，经由所述树脂层将所述金属板接合于所述玻璃基板的工序；从所述金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序；将所述掩模部中的与所述树脂层相接的面的相反侧的面接合于掩模框架的工序，该掩模框架与所述掩模部相比具有更高的刚性，且形成为将所述掩模部所包含的多个所述掩模孔包围的框状；以及从所述掩模部剥离所述树脂层及所述玻璃基板的工序。

用于解决上述课题的显示装置的制造方法包括：利用上述蒸镀掩模的制造方法来准备蒸镀掩模的步骤；以及通过使用了所述蒸镀掩模的蒸镀来形成图案的工序。

用于解决上述课题的蒸镀掩模具备：掩模部，具备用于与蒸镀对象接触的接触面、以及所述接触面的相反侧的非接触面，且形成为片状，所述掩模部具有从位于所述非接触面的第一开口贯通至位于所述接触面的第二开口的多个掩模孔，所述第二开口的大小与所述第一开口的大小相比较小；以及掩模框架，具备与所述非接触面接合的接合部，所述掩模框架与所述掩模部相比具有更高的刚性，且形成为包围多个所述掩模孔的框状。

根据上述各构成，在蒸镀掩模中，包含多个贯通孔的掩模部在制造蒸镀掩模的过程中被树脂层及玻璃基板支承，并且在蒸镀掩模中被掩模框架支承，因此与仅由掩模部构成蒸镀掩模的情况相比，能够减薄掩模部的厚度。因此，通过缩短贯通孔中的一方的开口与另一方的开口的距离，能够提高图案中的构造精度，并且通过掩模框架所具有的刚性，能够提高蒸镀掩模的操作性。