[发明专利]多孔片及其制造方法

说明书

一种多孔片，其为通过将树脂粒子烧结而形成的多孔片，所述多孔片具有连续气孔，并且所述多孔片的至少一个表面的由JIS B0601：2001定义的切割水平5μm下的载荷长度率为10％以上。

技术领域

本发明涉及多孔片及其制造方法。

背景技术

对于用于固定或运送液晶用玻璃板、层叠陶瓷电容器用的生片(グリーンシート(green sheet))等薄膜状、板状物或膜状物的手段之一，有利用减压抽吸将薄膜等被吸附体吸附在吸附台上而固定的方法(吸附固定)或运送的方法(吸附运送)。此时，为了防止在被吸附体上产生划痕、接触痕，在吸附台的吸附面上安装作为吸附缓冲材料的具有透气性的树脂多孔体。作为这样的树脂多孔体，从刚性、缓冲性等观点考虑，有时使用对聚乙烯粉末进行烧结成型而得到的烧结成型体。

近年来，液晶、层叠陶瓷电容器的小型化和高性能化急速发展，作为其原料的玻璃板、陶瓷生片的薄型化正在发展。因此，产生了进行非常精确的吸附固定或吸附运送的需要。因此，作为在减压吸附中安装于吸附台的吸附缓冲材料而言，也要求优异的表面平滑性、强度刚性等。

例如，在专利文献1中，以提供能够应对生片的变轻和变薄的吸附固定运送用片为目的，提出了规定了片整体的厚度方向的透气度、表面的开孔率、表面粗糙度的片。然而，专利文献1中记载的多孔片通过在多孔烧结体的表面载置平滑性高的PET片等并进行加热、加压而确保表面的平滑性。因此，整个厚度方向的孔隙率变小，如果不使片的厚度变薄，则难以得到高透气度，并且吸附力变差。另一方面，如果片的厚度变薄，则难以确保吸附固定、吸附运送用途中所要求的强度，关于这一点，还公开了为了加强而将其它的透气性高的片层叠在与被吸附体所接触的面的相反侧的方法，但结果片整体的厚度增加，很难说解决了根本问题。

另外，在专利文献2中，公开了将粉体供给至环形传送带(無端コンベアベルト)等带状的运送用基体上的方法及其装置，公开了可以通过对运送用基体上的树脂粉体进行加热而形成烧结成型体。然而，关于将气孔制成连续气孔、烧结体的表面形状没有任何记载。

此外，即使是如专利文献1那样的表面粗糙度小、开口率小的片材，在表面具有突起状的形状的情况下，有时会对被吸附体造成损伤，假设在将专利文献1那样的片材用于层叠陶瓷电容器等的生产工序中的情况下，会导致产品收率的降低。然而，在专利文献1中，关于影响被吸附体的损伤的突起状的形状没有任何记载。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-28390号公报

专利文献2：日本特开平3-143821号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是鉴于如上所述的情况而完成的，其目的在于提供一种在吸附固定运送用片的用途中，即使在对被吸附体施加压力的情况下也能够减小对被吸附体的损伤的多孔片及其制造方法。

用于解决问题的手段

本发明人为了解决上述问题进行了深入研究，结果发现，在通过对树脂粒子进行烧结而得到的具有连续气孔的多孔片中，通过将至少一个表面的载荷长度率设定在规定范围内，能够解决上述问题，从而完成了本发明。

即，本发明如下所述。

[1]

一种多孔片，其为通过将树脂粒子烧结而形成的多孔片，其中，

所述多孔片具有连续气孔，并且

所述多孔片的至少一个表面的由JIS B0601：2001定义的切割水平5μm下的载荷长度率为10％以上。

[2]