[发明专利]带有透明导电膜的基板的制造方法、带有透明导电膜的基板及太阳能电池

权利要求书

1.一种带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

向在基板的表面形成的透明导电膜照射亚纳秒-纳秒激光，在所述透明导电膜的至少一部分形成凹凸形状的激光诱导周期表面结构，

对所述亚纳秒-纳秒激光的积分通量进行控制，以使得在所述透明导电膜的照射面上所述亚纳秒-纳秒激光的光束的至少一部分的区域为能够去除所述透明导电膜的积分通量与不能去除所述透明导电膜的积分通量之间的值。

2.根据权利要求1所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

对所述亚纳秒-纳秒激光的积分通量进行控制，以使得对于所述亚纳秒-纳秒激光的光束，在中心区域为能够去除所述透明导电膜的积分通量，在位于所述中心区域的周围的第一周围区域为能够形成所述激光诱导周期表面结构的积分通量，在位于所述第一周围区域的周围的第二周围区域为不能去除所述透明导电膜的积分通量。

3.根据权利要求1或2所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

通过所述亚纳秒-纳秒激光对所述透明导电膜进行图案化。

4.根据权利要求1或2所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

控制所述亚纳秒-纳秒激光的光束的、积分通量为能够形成所述激光诱导周期表面结构的区域的宽度，由此控制所述透明导电膜被去除的宽度与形成所述激光诱导周期表面结构的宽度的比率。

5.根据权利要求1或2所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

所述激光诱导周期表面结构具有沿规定方向延伸且所述透明导电膜被去除了的去除部和沿所述规定方向延伸且残留有所述透明导电膜的残留部在与所述规定方向交叉的方向上交替地配置的结构。

6.根据权利要求5所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

在所述透明导电膜的相互分离的第一区域与第二区域之间形成所述激光诱导周期表面结构，调整所述第一区域与所述第二区域之间的电阻值。

7.根据权利要求6所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

通过设定所述规定方向来调整所述第一区域与所述第二区域之间的电阻值。

8.根据权利要求6或7所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

在所述透明导电膜形成有包含所述第一区域和所述第二区域的电路图案，所述规定方向相对于所述电路图案的长度方向倾斜。

9.根据权利要求6所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

按照所述规定方向与将所述第一区域和所述第二区域以最短距离连结的方向正交的方式形成所述激光诱导周期表面结构，使所述第一区域与所述第二区域之间电绝缘。

10.根据权利要求6所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

将两个所述激光诱导周期表面结构以彼此的所述规定方向交叉的方式重叠而形成，使所述第一区域与所述第二区域之间电绝缘。

11.根据权利要求5所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

所述透明导电膜的残留部以0.3μm至3.0μm的范围的间隔配置。

12.根据权利要求5所述的带有透明导电膜的基板的制造方法，其特征在于，

通过设定所述亚纳秒-纳秒激光的偏振方向来调整所述规定方向。