[发明专利]带有透明导电膜的基板的制造方法、带有透明导电膜的基板及太阳能电池

说明书

一种带有透明导电膜的基板的制造方法，向在基板的表面形成的透明导电膜照射亚纳秒‑纳秒激光，在所述透明导电膜的至少一部分形成凹凸形状的激光诱导周期表面结构。优选的是，对所述亚纳秒‑纳秒激光的积分通量进行控制，以使得在所述透明导电膜的照射面上所述亚纳秒‑纳秒激光的光束的至少一部分为能够去除所述透明导电膜的积分通量与不能去除所述透明导电膜的积分通量之间的值。

技术领域

本发明涉及带有透明导电膜的基板的制造方法、带有透明导电膜的基板及太阳能电池。

背景技术

在液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器、太阳能电池中，使用在玻璃等透明基板的表面形成有氧化铟锡(ITO)膜等透明导电膜的带有透明导电膜的基板。在带有透明导电膜的基板中，透明导电膜以规定的图案形成于基板的表面。透明导电膜的图案化例如通过激光加工来进行。在激光加工的情况下，通过向基板表面的透明导电膜照射激光而赋予能量，从而去除透明导电膜的一部分并进行图案化。在透明导电膜被去除之后而露出的基板的表面形成绝缘性的保护膜。

在专利文献1中公开了如下技术，即在透明导电膜被去除了的去除区域与透明导电膜的边界区域形成透明导电膜成为岛状的岛状部分，利用其锚固效果使保护膜难以剥离。在专利文献1中公开了如下内容，即，为使不向周边部分热扩散，使用脉冲宽度为10皮秒以下、优选为飞秒的超短脉冲激光来进行透明电极的图案化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-190392号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在这样的超短脉冲激光中，由于透明导电膜的岛状部分的尺寸形成得较小，因此，边界区域中的透明导电膜成为密集的凹凸形状，另外，有在岛之间容易残留透明导电膜、或岛彼此未完全分离的情况，因此有可能锚固效果变得不充分。另外，在超短脉冲激光中，由于每一个脉冲的能量较小，因此对于去除透明电极而进行图案化而言有时需要花费时间。另外，超短脉冲激光在每一个脉冲的能量相同的情况下，脉冲宽度越短，峰值越高，因此有可能在峰值高的部分对基板造成损伤。为了防止这样的损伤，需要使峰值降低到不对基板造成损伤的程度，但这样一来，每一个脉冲的能量变小，因此在图案化方面更花费时间。这样，若在图案化方面花费时间，则带有透明导电膜的基板的制造时间变长，制造性降低。因此带有透明导电膜的基板的制造成本变高。

另外，在超短脉冲激光的情况下，为了与该超短脉冲宽度对应，输出超短脉冲激光的激光装置本身、与激光装置一起使用的透镜等周边设备也需要高价的设备，因此设备成本变高。其结果是，所制造的带有透明导电膜的基板也变得高价。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够廉价且适当地实现透明导电膜的形状加工的带有透明导电膜的基板的制造方法、具有适当形状的透明导电膜的廉价的带有透明导电膜的基板、以及使用该基板的太阳能电池。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而实现上述目的，本发明的一个实施方式的带有透明导电膜的基板的制造方法的特征在于，在该带有透明导电膜的基板的制造方法中，向在基板的表面形成的透明导电膜照射亚纳秒-纳秒激光，在所述透明导电膜的至少一部分形成凹凸形状的激光诱导周期表面结构。

本发明的一个实施方式的带有透明导电膜的基板的制造方法的特征在于，对所述亚纳秒-纳秒激光的积分通量进行控制，以使得在所述透明导电膜的照射面上所述亚纳秒-纳秒激光的光束的至少一部分的区域为能够去除所述透明导电膜的积分通量与不能去除所述透明导电膜的积分通量之间的值。