[发明专利]表面突起抛光垫

权利要求书

1.一种制品，包括：

表面层，所述表面层具有重复微结构，所述表面层包括：

顶部主表面，所述顶部主表面限定平面；

底部主表面，所述底部主表面与所述顶部主表面相对；

多个突起，所述多个突起从所述顶部主表面的所述平面延伸，其中所述多个突起具有介于所述顶部主表面的表面积的0.1％至40％之间的面密度；以及

多个微结构，所述多个微结构从形成重复微结构的顶部主表面的平面延伸；以及

基底层，所述基底层在所述底部主表面处联接到所述表面层的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起中的每一个具有至少20μm的突起高度。

3.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起中的每一个具有至少1mm的突起宽度。

4.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起中的至少一部分为圆形突起。

5.根据权利要求4所述的制品，其中所述多个突起中的所述至少一部分延伸所述制品的长度。

6.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起中的至少一部分为轴向条纹状突起。

7.根据权利要求6所述的制品，其中所述多个突起中的所述至少一部分延伸所述制品的半径。

8.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起中的至少一部分为平行条纹状突起。

9.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起在两个相邻突起之间具有至少1cm的间距。

10.根据权利要求1所述的制品，其中所述基底层包括压敏粘合剂。

11.根据权利要求1所述的制品，其中所述基底层包括多个结构，所述多个结构对应于从所述顶部主表面的所述平面延伸的所述多个突起。

12.根据权利要求1所述的制品，还包括中间层，所述中间层包括多个间隔物，所述多个间隔物在所述表面层的至少一部分和所述基底层的至少一部分之间并且对应于从所述顶部主表面的所述平面延伸的所述多个突起。

13.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个微结构中的每一个具有小于1mm的微结构高度。

14.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起具有介于所述顶部主表面的表面积的1％至10％之间的面密度。

15.根据权利要求1所述的制品，其中所述多个突起具有介于3个突起/100平方英寸至200个突起/100平方英寸之间的密度。

16.根据权利要求1所述的制品，其中多个微结构分布在多个突起的至少一部分上。

17.一种系统，包括：

载体组件，所述载体组件被构造成保持基板；

抛光垫，所述抛光垫包括根据权利要求1所述的制品；

压板，所述压板联接到所述抛光垫；

抛光浆料，所述抛光浆料包含流体组分和磨料组分，并且

其中所述系统被构造成使所述抛光垫相对于所述基板移动。

18.根据权利要求17所述的系统，其中所述抛光垫的所述多个突起具有小于所述基板的宽度的间距。