[发明专利]抗反射结构体

权利要求书

1.一种抗反射结构体，其特征在于，其具备多个有底筒状的吸光单元，所述吸光单元包括具有大致圆形的外缘部的底部及沿所述外缘部竖立的壁部，所述底部的上方设为开口部，所述抗反射结构体满足下述＜A＞～＜B＞的条件，

＜A＞

沿所述吸光单元的高度方向俯视所述抗反射结构体，任意地设定包含200～300个所述吸光单元的正方形的区域，针对横切所述正方形的2条对角线的各吸光单元，以0.05μm为刻度分别测定包含开口部的最小圆的直径，对不相互重叠的5个区域进行所述测定处理，作为测定出的所有直径的算术平均值而求出的所述开口部的平均开口直径(Dave)满足下述式(1)，

式(1)1μm≦Dave≦10μm

＜B＞

所述平均开口直径(Dave)与最大直径(Dmax)及最小直径(Dmin)满足下述式(2)，

式(2)0.1≦(Dmax－Dmin)/Dave≦0.5

此处，所述式(2)的最大直径(Dmax)及最小直径(Dmin)的各值分别是在开口直径分布图中，具有相对于众数的个数为10％以上的个数的直径中的最大值及最小值，所述开口直径分布图是针对所述＜A＞中测定的各最小圆，以横轴表示其直径，以纵轴表示具有各直径的所述最小圆的个数而获得。

2.根据权利要求1所述的抗反射结构体，其特征在于，

在所述开口直径分布图中，观测到1个所述众数的个数的10％以上的波峰。

3.根据权利要求1所述的抗反射结构体，其特征在于，

在所述开口直径分布图中，观测到2个以上的所述众数的个数的10％以上的波峰。

4.根据权利要求3所述的抗反射结构体，其特征在于，

针对2个以上的所述波峰，具有最小直径的波峰与具有最大直径的波峰的所述直径之差为0.3μm以上1.5μm以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的抗反射结构体，其特征在于，

所述壁部的平均高度为5μm以上100μm以下。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的抗反射结构体，其特征在于，

在所述底部形成有以平均间距10nm以上500nm以下群立的微小突起结构。

7.根据权利要求6所述的抗反射结构体，其特征在于，

所述微小突起的平均高度为0.1μm以上4μm以下。