[发明专利]抗反射结构体

说明书

本发明提供一种抗反射结构体(1)，具备多个有底筒状的吸光单元(2)，所述吸光单元(2)包括具有大致圆形的外缘部的底部及沿所述外缘部竖立的壁部，所述底部的上方设为开口部，所述抗反射结构体(1)满足特定的条件。

技术领域

本发明涉及一种抗反射结构体。本案基于在2017年9月1日于日本申请的日本专利特愿2017-168943号而主张优先权，并将其内容援引至此。

背景技术

以前，揭示有一种为了防止CD(Compact Disc，光盘)或DVD(Digital VersatileDisc，数字多功能光盘)等光盘的表面、透镜、保护膜等的表面的光的反射，在所述表面形成包含衍射图案或微细的凹凸的抗反射结构体的技术(例如专利文献1)。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利第5162585号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

专利文献1中，作为抗反射的凹凸结构，提出有如下结构：使凸部与凹部的阶差为1.5μm以上的衍射图案和形成于该衍射图案的表面的微细凸部的间距间隔变窄为250nm以下。然而，其抗反射性能不一定充分，人们谋求具有更优异的抗反射性能的结构。

本发明提供一种抗反射性能优异的抗反射结构体。

[解决问题的技术手段]

[1]一种抗反射结构体，其特征在于，具备多个有底筒状的吸光单元，该吸光单元包括具有大致圆形的外缘部的底部及沿所述外缘部竖立的壁部，所述底部的上方设为开口部，所述抗反射结构体满足下述＜A＞～＜B＞的条件，

＜A＞

沿所述吸光单元的高度方向俯视所述抗反射结构体，任意地设定包含200～300个所述吸光单元的正方形的区域，针对横切该正方形的2条对角线的各吸光单元，以0.05μm为刻度分别测定包含开口部的最小圆的直径。对不相互重叠的5个区域进行该测定处理，作为测定出的所有直径的算术平均值而求出的所述开口部的平均开口直径(Dave)满足下述式(1)，

式(1)1μm≦Dave≦10μm

＜B＞

所述平均开口直径(Dave)与最大直径(Dmax)及最小直径(Dmin)满足下述式(2)，

式(2)0.1≦(Dmax－Dmin)/Dave≦0.5

此处，所述式(2)的最大直径(Dmax)及最小直径(Dmin)的各值分别是在开口直径分布图中，具有相对于众数的个数为10％以上的个数的直径中的最大值及最小值，该开口直径分布图是关于所述＜A＞中测定的各最小圆，以横轴表示其直径，以纵轴表示具有各直径的所述最小圆的个数而获得。

[2]如[1]的抗反射结构体，其中在所述开口直径分布图中，观测到1个所述众数的个数的10％以上的波峰。

[3]如[1]的抗反射结构体，其中在所述开口直径分布图中，观测到2个以上的所述众数的个数的10％以上的波峰。

[4]如[3]的抗反射结构体，其中针对2个以上的所述波峰，具有最小直径的波峰与具有最大直径的波峰的所述直径之差为0.3μm以上1.5μm以下。

[5]如[1]至[4]中任一项的抗反射结构体，其中所述壁部的平均高度为5μm以上100μm以下。

[6]如[1]至[5]中任一项的抗反射结构体，其中于所述底部形成有以平均间距10nm以上500nm以下群立的微小突起结构。

[7]如[6]的抗反射结构体，其中所述微小突起的平均高度为0.1μm以上4μm以下。