[发明专利]泄漏检查装置及泄漏检查方法

权利要求书

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，具有：

检查腔室(5)，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物(30)；

循环流路(10)，该循环流路将吸入口(11)和吹出口(12)连接，该吸入口配置于所述检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从所述吸入口离开的位置；

送风机(15)，该送风机配置于所述循环流路的上侧部分，通过将所述检查腔室的内部的气体从所述吸入口吸入并从所述吹出口吹出而使所述检查腔室的内部的气体循环；以及

检测部(25)，该检测部在所述循环流路的内部的从所述送风机朝向所述吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从所述检查对象物泄漏并包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体，

所述示踪气体是比所述检查腔室的内部的所述气体轻的气体，

所述吸入口和所述送风机配置在所述检查腔室的上部，所述吹出口配置在所述检查腔室的下部。

2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述吹出口配置成，吹出方向与在所述检查腔室的内部朝向所述吸入口流动的所述气体的流动方向交叉，

所述检查腔室在与所述吹出口相向的位置具有对从所述吹出口吹出的所述气体的流动方向进行转换的方向转换部(9)。

3.根据权利要求1或2所述的泄漏检查装置，其特征在于，

在所述检查腔室的内部配置有载置台(6)，所述载置台具有载置所述检查对象物的平板(7)，

所述平板具有在该平板的厚度方向上贯通的多个贯通孔(8)。

4.一种泄漏检查方法，其特征在于，所述泄漏检查方法是用于泄漏检查装置的泄漏检查方法，所述泄漏检查装置具有：

检查腔室(5)，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物(30)；

循环流路(10)，该循环流路将吸入口(11)和吹出口(12)连接，该吸入口配置于所述检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从所述吸入口离开的位置；

送风机(15)，该送风机配置于所述循环流路的上侧部分，通过将所述检查腔室的内部的气体从所述吸入口吸入并从所述吹出口吹出而使所述检查腔室的内部的气体循环；以及

检测部(25)，该检测部在所述循环流路的内部的从所述送风机朝向所述吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从所述检查对象物泄漏并包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体，

所述示踪气体是比所述检查腔室的内部的所述气体轻的气体，

所述吸入口和所述送风机配置在所述检查腔室的上部，所述吹出口配置在所述检查腔室的下部，

所述泄漏检查方法具有：

配置工序，在所述检查腔室的内部配置所述检查对象物；

气体填充工序，向所述检查对象物的内部填充所述示踪气体；

循环工序，通过所述送风机的工作，使所述检查腔室的内部的气体经由所述循环流路循环；

检测工序，在持续进行所述示踪气体向所述检查对象物的填充和基于所述送风机的工作经由所述循环流路进行的所述气体的循环的状态下，利用所述检测部检测包含于在所述循环流路中流动的气体的所述示踪气体；以及

判定工序，在使用由所述检测部检测出的示踪气体满足预先设定的判定条件的情况下，将对所述检查对象物的泄漏检查判定为合格。

5.根据权利要求4所述的泄漏检查方法，其特征在于，

在所述气体填充工序开始之后且所述检测工序之前具有待机工序，在该待机工序，在填充到所述检查对象物的内部的所述示踪气体的压力达到预先设定的检查压力(Pe)为止所需的期间以上的期间，持续进行所述示踪气体向所述检查对象物的填充和基于所述送风机的工作经由所述循环流路进行的所述气体的循环。