[发明专利]泄漏检查装置及泄漏检查方法

说明书

泄漏检查装置具有在内部配置填充有示踪气体的检查对象物(30)的检查腔室(5)、以及将配置于检查腔室的吸入口(11)和配置于在检查腔室从吸入口离开的位置的吹出口(12)连接的循环流路(10)。泄漏检查装置具有送风机(15)，该送风机配置于循环流路，通过将检查腔室的内部的气体从吸入口吸入并从吹出口吹出而使气体循环。泄漏检查装置在循环流路的内部具有检测部(25)，该检测部在循环流路的内部的从送风机朝向吹出口离开预先设定的距离以上的位置，检测从检查对象物泄漏并包含于在循环流路中流动的气体的示踪气体。

相关申请的相互参照

本申请基于2017年9月21日申请的日本专利申请2017-180939号，在此引用其记载内容。

技术领域

本发明涉及用于使用示踪气体来检查具有气密空间的检查对象物的气密性的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

背景技术

以往，对于具有要求规定的气密性的空间的工业产品，为了确保其气密性，使用泄漏检查装置及使用该泄漏检查装置的泄漏检查方法。在专利文献1中记载了这样的泄漏检查装置及方法。

在专利文献1中，在检查腔室内配置检查对象物后，在该检查对象物的内部封入封入气体，进行差压泄漏检查。当随着差压泄漏检查的结束，将封入气体排出到检查对象物的外部时，使检查腔室内成为大气压状态，在检查对象物的内部以规定压力封入示踪气体(即，氦气)。在该状态下搅拌检查腔室内的气体后，进行以从该检查腔室内采集的气体为对象的示踪气体的检测，对检查对象物中的泄漏的有无进行检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3203528号公报

在专利文献1中，由于存在封入气体相对于检查对象物的封入及排出这样的工序，因此直至结束使用示踪气体的泄漏检查，需要大量的操作、时间。

另外，在专利文献1所记载的泄漏检查装置的情况下，在检查腔室的内部的规定位置固定有检查对象物。另外，通过检测部，检测从检查腔室内的特定的位置采集的气体中的示踪气体，使用该检测结果来对检测对象物中的泄漏的有无进行检查。

因此，检查对象物中的泄漏的位置与检测部的检测位置的位置关系有可能对示踪气体的检测精度造成影响，进而也有可能对泄漏检查的检查精度造成影响。因此，在专利文献1中，通过利用风扇对检查腔室内的气体进行搅拌，谋求该气体所包含的示踪气体的均匀化。

然而，如专利文献1那样，在利用风扇对检查腔内部进行搅拌的情况下，为了均匀地搅拌示踪气体需要足够长的时间。或者，为了缩短搅拌时间，需要将应该搅拌的容积限制为较小，检查对象物和检查腔室的尺寸受到限制。

例如，在检查腔室相对于检查对象物过大的情况下，必须搅拌的气体容积大，检查腔室内的示踪气体的分布有可能变得不均匀。在该情况下，检测部对示踪气体的检测结果大幅变动，因此泄漏检查的检查精度大幅变动。

即，在专利文献1的情况下，为了确保恒定的检查精度，需要严格限制检查对象物的尺寸，缺乏通用性。

发明内容

本发明涉及用于对检查对象物的气密性进行检查的泄漏检查装置及泄漏检查方法，其目的在于提供一种能够应对各种尺寸的检查对象物并且能够以简单的结构实现规定以上的精度的泄漏检查装置及泄漏检查方法。

在本发明的一个方式中，泄漏检查装置具有：

检查腔室，该检查腔室在内部配置有填充有示踪气体的检查对象物；

循环流路，该循环流路将吸入口和吹出口连接，该吸入口配置于检查腔室，该吹出口配置于在该检查腔室从吸入口离开的位置；