[发明专利]衬底制造方法在审
| 申请号： | 201880055845.7 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN111065765A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 田中敦之;河口大祐 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人名古屋大学;浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;B28D5/04;C30B33/02;H01L21/304;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 制造 方法 | ||
1.一种衬底制造方法，其特征在于，具有：
照射工序，从与氮化镓(GaN)的晶锭的表面大致垂直的方向向所述晶锭的内部照射激光，来形成析出了镓且与所述晶锭的表面大致平行的改性层；以及
分离工序，通过溶解所述改性层，从而以形成了所述改性层的位置作为边界来使所述晶锭相互分离。
2.根据权利要求1所述的衬底制造方法，其特征在于，
在所述分离工序中，通过药液来溶解所述改性层。
3.根据权利要求2所述的衬底制造方法，其特征在于，
所述分离工序是通过使所述晶锭浸渍在充满了所述药液的槽中来进行的。
4.根据权利要求3所述的衬底制造方法，其特征在于，
在所述照射工序中，形成距所述晶锭的表面的深度各不相同的N个所述改性层，其中，N为2以上的自然数，
在所述分离工序中，通过溶解N个所述改性层的每一个而将所述晶锭分离成N+1个。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的衬底制造方法，其特征在于，
在所述分离工序中使用加热了的状态的所述药液。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的衬底制造方法，其特征在于，
所述药液为王水。
7.根据权利要求1所述的衬底制造方法，其特征在于，
在所述分离工序中，通过将所述改性层加热至比镓的熔点高的温度来熔解所述改性层。
8.根据权利要求7所述的衬底制造方法，其特征在于，
在所述分离工序中，通过对所述晶锭的表面施加朝向与所述表面平行的第1方向的力，并且对所述晶锭的背面施加与所述背面平行且朝向与所述第1方向相反的方向的第2方向的力，从而将所述晶锭相互分离。
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