[发明专利]衬底制造方法

说明书

本发明提供一种与衬底制造方法相关的技术。衬底制造方法具有照射工序，从与氮化镓的(GaN)晶锭的表面大致垂直的方向向晶锭的内部照射激光，来形成析出了镓且与晶锭的表面大致平行的改性层。衬底制造方法具有分离工序，通过溶解改性层，从而以形成了改性层的位置作为边界来使晶锭相互分离。

技术领域

本申请基于2017年9月1日提出的日本专利申请第2017-168569号要求优先权。通过参照而在本说明书中引用该申请的全部内容。本说明书公开了与衬底制造方法相关的技术。

背景技术

日本特开2017-57103号公报公开了一种由氮化镓晶锭生成氮化镓衬底的方法。具体而言，通过对氮化镓的晶锭照射激光束来形成使镓和氮析出了的界面。在晶锭的第一面粘贴第一保持构件，在第二面粘贴第二保持构件。通过将晶锭加热至镓熔融的温度并且使第一保持构件和第二保持构件向相互背离的方向移动，从而将晶锭从界面分离来生成氮化镓衬底。

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1的技术中使晶锭的第一面和第二面向相互背离的方向移动。于是，因为在背离时向氮化镓衬底施加外力，所以氮化镓衬底有可能发生破裂。

用于解决问题的方案

在本说明书中公开了一种衬底制造方法。该衬底制造方法的特征在于，具有照射工序，从与氮化镓(GaN)的晶锭的表面大致垂直的方向向晶锭的内部照射激光，来形成析出了镓且与晶锭的表面大致平行的改性层。此外，其特征在于，具有分离工序，通过溶解改性层，从而以形成了改性层的位置作为边界来使晶锭相互分离。

在本说明书的衬底制造方法中，能够在氮化镓的晶锭内部形成改性层，通过溶解该改性层来使晶锭相互分离。与使晶锭的第一面和第二面朝向相互背离的方向移动的情况相比，能够抑制施加在晶锭的力。能够防止分离了的衬底发生破裂的状况。

在分离工序中，可以通过药液来溶解改性层。

分离工序可以是通过将晶锭浸渍在充满了药液的槽中进行的。

在照射工序中，可以形成距晶锭的表面的深度各不相同的N个(N为2以上的自然数)改性层。在分离工序中，可以通过溶解N个改性层的每一个而将晶锭分离成N+1个。

在分离工序中，可以使用加热了的状态的药液。

药液可以为王水。

在分离工序中，可以通过将改性层加热至比镓的熔点高的温度来熔解改性层。

在分离工序中，可以通过对晶锭的表面施加朝向与表面平行的第1方向的力，并且对晶锭的背面施加与背面平行且朝向与第1方向相反的方向的第2方向的力，从而将晶锭相互分离。

附图说明

图1为说明实施例1的衬底制造方法的流程图。

图2为表示形成了改性层的晶锭的一例的图。

图3为激光照射装置的概要图。

图4为药液槽的概要图。

图5为说明实施例2的衬底制造方法的图。

具体实施方式

实施例1

使用图1的流程对实施例1的衬底制造方法进行说明。衬底制造方法具有步骤S100的照射工序、步骤S200的分离工序以及步骤S300的抛光工序。