[发明专利]微粒检测元件以及微粒检测器

说明书

微粒检测元件具备：壳体(12)，其具有供气体通过的气体流路(13)；电荷产生部(20)，其对导入至壳体(12)内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，由此使该微粒形成为带电微粒；捕集部(42)，其具有一个以上的捕集电极，该捕集电极以在气体流路(13)露出的方式设置于壳体(12)内，并对带电微粒和未附加于微粒的电荷的任一者、即捕集对象进行捕集；以及加热部(62)，其对捕集电极进行加热。壳体(12)具有一个以上的捕集电极配设壁部(15)，在该捕集电极配设壁部配设有至少一个捕集电极。捕集电极配设壁部(15)的至少一个在与气体流路(13)的中心轴垂直的截面中呈中央部分的厚度比除此以外的部分的厚度薄的中央减薄形状。

技术领域

本发明涉及微粒检测元件以及微粒检测器。

背景技术

以往，作为微粒检测器，已知如下微粒检测器：对导入至壳体内的被测定气体中的微粒附加电荷，利用测定电极对附加有电荷的微粒进行捕集，并基于捕集到的微粒的电荷量而测定微粒的个数(例如专利文献1)。另外，专利文献1的微粒检测器具备对测定电极进行加热的加热器。该加热器对测定电极进行加热，由此将附着于测定电极的微粒除去而对测定电极进行更新。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

发明内容

对于这种微粒检测器，希望迅速地将附着于电极的微粒除去。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于以更短的时间将附着于捕集电极的微粒除去。

本发明为了达成上述主要目的而采用了以下手段。

本发明的微粒检测元件用于对气体中的微粒进行检测，其中，

该微粒检测元件具备：

壳体，其具有供所述气体通过的气体流路；

电荷产生部，其对导入至所述壳体内的所述气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，由此使该微粒形成为带电微粒；

捕集部，其具有一个以上的捕集电极，所述捕集电极以在所述气体流路露出的方式设置于所述壳体内，并对所述带电微粒和未附加于所述微粒的所述电荷的任一者、即捕集对象进行捕集；以及

加热部，其对所述捕集电极进行加热，

所述壳体具有一个以上的捕集电极配设壁部，在所述捕集电极配设壁部配设有至少一个所述捕集电极，

所述捕集电极配设壁部的至少一个在与所述气体流路的中心轴垂直的截面中呈中央部分的厚度比除此以外的部分的厚度薄的中央减薄形状。