[发明专利]阻气膜及阻气膜的制造方法

说明书

本发明的课题在于提供一种耐久性高、生产率也良好的新型的阻气膜及该阻气膜的制造方法。阻气膜依次具有支承体、被支承体支承的无机层和树脂膜，树脂膜具有羟基，无机层和树脂膜在界面处直接接合且局部具有分离部，该阻气膜具有一组以上无机层和树脂膜的组合。在阻气膜的制造方法中，通过气相沉积法形成无机层之后，在无机层上层叠具有羟基的树脂膜并加热。

技术领域

本发明涉及一种阻气膜及制造该阻气膜的制造方法。

背景技术

为了保护太阳能电池、有机电致发光元件及使用量子点的照明装置等由于水分和/或氧气等而劣化的元件等，使用阻气膜。

另外，作为具有高阻气性的阻气膜，已知有具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜。具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜具有在支承体的表面形成一组以上无机层和基底有机层的组合的结构，其中，该无机层主要表现阻气性，该基底有机层成为该无机层的基底层(底涂层)。

以往，具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜在最上层形成有用于保护无机层的有机层(保护有机层)。

如果最上层是无机膜，则无机层因接触等而损坏，无法获得目标阻气性。因此，为了防止无机层损坏，在最上层形成有机层。

另外，在具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜中，在形成无机层之后到形成有机层的期间，为了保护无机层，在形成无机层之后，在无机层上层叠层压膜(保护膜)。

例如，在专利文献1中记载有一种阻气膜(功能性膜的制造方法)，其包括连续地供给细长的支承体的工序、在减压下形成无机膜的工序、以及对无机膜与支承体之间赋予滑动性且夹装具有无机膜的厚度以下的表面粗糙度Ra的层压膜、并在减压下将支承体卷取到辊上的工序。

在专利文献2中记载有一种阻气膜(阻隔性层叠体)，其依次含有第一有机层、无机层及第二有机层，第二有机层是通过直接涂布在无机层表面的聚合性组合物的固化而形成的层，聚合性组合物包括氨基甲酸乙酯骨架丙烯酸酯聚合物，氨基甲酸乙酯骨架丙烯酸酯聚合物具有包括丙烯主链及侧链的结构，其中，侧链含有氨基甲酸乙酯聚合物单元或氨基甲酸乙酯低聚物单元，侧链在末端具有丙烯酰基。

另外，在专利文献2中还记载有在该阻气膜上通过粘接剂粘贴密封膜用作输液袋的技术。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-207126号公报

专利文献2：日本特开2015-171798号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

如专利文献1及2所示，在有机层和无机层的层叠结构的阻气膜中，如果不在无机膜上形成任何保护层，则无法防止无机膜被破环，无法获得高性能的阻气膜。即，重要的是，在阻气膜的表面具有对无机层具有保护功能的层及提高与使用阻气膜的产品的相容性的功能层等。

在这点上，在专利文献1及2中记载的阻气膜非常实用，且无机层的防护能力也高，具有出色的性能。

但是，这些具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜的制造工艺非常复杂。

即，在具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜中，形成无机层后，在无机层的成膜装置内，将保护膜层叠于无机层上，卷取成卷状。接着，将该卷从无机层的成膜装置取下，装填到有机层的成膜装置上，将保护膜剥离后，在无机层上形成有机层。

这样，在以往的具有有机层和无机层的层叠结构的阻气膜中，为了形成保护无机层同时具有出色的阻气性的有机层，在形成无机层之后，需要保护膜的层叠、卷从无机层的成膜装置向有机层的成膜装置的拆装以及保护膜的剥离等工序，制造工艺非常复杂。