[发明专利]太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及太阳能电池模块

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，是背面电极型的太阳能电池的制造方法，上述太阳能电池具备：半导体基板，其在2个主面中的至少背面侧具有凹凸结构；第1导电型半导体层和第1电极层，其按顺序层叠在上述半导体基板的上述背面侧的一部分；以及第2导电型半导体层和第2电极层，其按顺序层叠在上述半导体基板的上述背面侧的另一部分，

上述太阳能电池的制造方法的特征在于，包含：

电极材料膜形成工序，在层叠于上述半导体基板的上述背面侧的上述第1导电型半导体层和上述第2导电型半导体层上，使用物理气相生长法形成至少1层电极材料膜；以及

图案化工序，进行将上述电极材料膜的一部分除去的图案化，以在第1方向上延伸并且在第2方向上排列的方式形成带状的上述第1电极层和上述第2电极层，上述第2方向是沿着上述半导体基板的一边部的方向，上述第1方向是与上述第2方向垂直的方向，

在上述电极材料膜形成工序中，一边在上述第2方向上搬运层叠有上述第1导电型半导体层和上述第2导电型半导体层的上述半导体基板，一边形成上述电极材料膜。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，

在上述电极材料膜形成工序中，将上述电极材料膜形成为多层。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制造方法，

在上述电极材料膜形成工序中，以使上述电极材料膜的多层中的与上述第1导电型半导体层和上述第2导电型半导体层接触的第1层的膜厚比第2层以后的层的膜厚薄的方式形成上述电极材料膜。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池的制造方法，

在上述电极材料膜形成工序中，以使上述电极材料膜的多层中的与上述第1导电型半导体层和上述第2导电型半导体层接触的第1层的膜厚成为第2层以后的层的膜厚的1/2倍以下的方式形成上述电极材料膜。

5.一种太阳能电池，是背面电极型的太阳能电池，具备：半导体基板，其在2个主面中的至少背面侧具有凹凸结构；第1导电型半导体层和第1电极层，其按顺序层叠在上述半导体基板的上述背面侧的一部分；以及第2导电型半导体层和第2电极层，其按顺序层叠在上述半导体基板的上述背面侧的另一部分，

上述太阳能电池的特征在于，

上述第1电极层和上述第2电极层是透明电极层，

上述第1电极层和上述第2电极层呈在第1方向上延伸的带状，并在第2方向上排列，上述第2方向是沿着上述半导体基板的一边部的方向，上述第1方向是与上述第2方向垂直的方向，

在相邻的上述第1电极层与上述第2电极层之间存在上述第1电极层和上述第2电极层的电极材料的残渣，

上述残渣的一部分是反映了上述半导体基板的凸部的一部分的形状且在上述第1方向上相连。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池，

上述凸部是四棱锥形状，

反映了上述凸部的一部分的形状在从上述背面侧正面观看时为三角形状。

7.根据权利要求5或6所述的太阳能电池，

上述第1电极层和上述第2电极层是多层结构，

上述多层结构中的与上述第1导电型半导体层和上述第2导电型半导体层接触的第1层的膜厚是第2层以后的层的膜厚的1/2倍以下。

8.根据权利要求5或6所述的太阳能电池，

上述第1电极层和上述第2电极层的电极材料是导电性氧化物。

9.根据权利要求7所述的太阳能电池，

上述第1电极层和上述第2电极层的电极材料是导电性氧化物。

10.一种太阳能电池模块，其特征在于，

具备权利要求5～9中的任意一项所述的太阳能电池。