[发明专利]被处理对象物的内壁面的处理方法

权利要求书

1.一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用所述臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器及供给所述臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对所述被处理对象物的内壁面进行处理，所述被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：

对所述被处理对象物的所述内壁面中有无异常部位进行确认，包括如下步骤：以与所述被处理对象物的所述内壁面接触的方式使浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体流通；以及

在确认有无所述异常部位的步骤之后，以与所述被处理对象物的所述内壁面接触的方式，使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。

2.根据权利要求1所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，在使所述臭氧气体流通的步骤中，使温度为室温以上的所述臭氧气体流通。

3.根据权利要求1或2所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，使所述臭氧气体流通的步骤是在6小时以上48小时以下的时间范围内进行。

4.根据权利要求1或2所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，所述被处理对象物包括第一壁及与所述第一壁相对配置的第二壁；

在所述第一壁的附近，设置有用于将所述臭氧气体供给至被处理对象物内的供给口；

在所述第二壁的附近，设置有用于将所述臭氧气体排出至被处理对象物外的排出口。

5.根据权利要求1或2所述的被处理对象物的内壁面的处理方法，其中，进一步包括如下步骤：在使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的所述臭氧气体流通的步骤开始后，若利用确认所述被处理对象物的至少一部分区域有无温度上升的步骤确认所述被处理对象物的至少一部分区域有无温度上升，则切换为浓度为5体积％以上且小于10体积％的臭氧气体或氧气且使的流通。