[发明专利]被处理对象物的内壁面的处理方法

说明书

本发明提供一种被处理对象物的内壁面的处理方法，将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器(30)及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。

技术领域

本发明关于一种被处理对象物的内壁面的处理方法。本申请基于并要求于2017年11月30日提交的日本申请第2017-230351号的优先权的权益，上述日本申请所记载的全部记载内容援引于此。

背景技术

已知向供给气体的配管等供给臭氧气体并对内壁面进行钝态化处理的方法(例如参照专利文献1)。专利文献1公开的钝态化处理方法将臭氧处理单元连接于已施工完毕的配管系统，使臭氧气体作用于配管系统的内表面，从而对配管系统的内表面进行钝态化处理。是如下的钝态化处理方法，首先，使氧气中的臭氧浓度为10体积％以下的臭氧气体作用预定时间，然后使将臭氧气体浓度阶段性地增加所得的臭氧气体分别作用预定时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-201554号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1公开的钝态化处理方法中，因使臭氧浓度阶段性地增加，因此处理变得烦杂。

因此，本发明目的之一在于提供一种可有效率地对被处理对象物的内壁面进行处理的被处理对象物的内壁面的处理方法。

用于解决课题的方案

本发明的被处理对象物的内壁面的处理方法将收容臭氧气体且内壁为金属制的收容容器、收容使用臭氧气体进行表面处理的物体且内壁为金属制的处理容器及供给臭氧气体且内壁为金属制的配管中的至少任一个作为被处理对象物，对被处理对象物的内壁面进行处理。被处理对象物的内壁面的处理方法包括如下步骤：确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位；以及在确认有无异常部位的步骤之后，以与被处理对象物的内壁面接触的方式，使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通。

专利文献1中，为了消除若在作为原料的纯水或纯化水或者其他流体中混入金属离子成分而对成分造成影响这一问题(参照专利文献1的第[0006]段落)，并且为了高精度地维持半导体用气体的浓度(参照专利文献1的第[0004]段落)，而进行专利文献1所示的钝态化处理。此处，本发明的发明者发现：即便不进行此种处理，亦有如下用途，即，当使用被处理对象物并利用臭氧气体进行物体的表面处理时，虽未达成由腐蚀而溶出的金属量的减少，但只要可抑制臭氧浓度的降低即可。而且，为了即便未进行专利文献1所示的钝态化处理亦可抑制臭氧浓度的降低而进行了积极研究，从而构成本发明。

在本发明的被处理对象物的内壁面的处理方法中，首先进行确认被处理对象物的内壁面中有无异常部位的预处理。此处，异常部位例如是指油脂等有机物或树脂等异物附着于被处理对象物的内壁面的部位或存在于被处理对象物的内壁面的损伤部位。借由进行此种预处理，可在进行后述的正式处理时抑制异常部位中发生急遽的发热而对配管等造成损伤。

接下来，预处理之后，进行以与被处理对象物的内壁面接触的方式使浓度为10体积％以上30体积％以下且温度为60℃以下的臭氧气体流通的正式处理。借由如此进行正式处理，在对被处理对象物执行使用臭氧气体进行表面处理的物体的表面处理时，可抑制臭氧浓度的降低。