[发明专利]压电振子以及压电振子的制造方法在审
申请号: | 201880059668.X | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN111183583A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 井原木洋;河合龙一 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H01L23/02;H03H3/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王玮;张丰桥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 以及 制造 方法 | ||
1.一种压电振子,具有:
压电振动元件;
盖部件以及基座部件,收容所述压电振动元件;以及
接合部件,将所述盖部件以及所述基座部件接合,
在俯视所述基座部件的主面时,所述接合部件具有以固定的宽度尺寸包围所述压电振动元件的框形。
2.根据权利要求1所述的压电振子,其中,
所述盖部件以及所述接合部件的材料分别是金属。
3.根据权利要求2所述的压电振子,其中,
所述框形包括矩形,该矩形包括边部以及角部,
在俯视所述基座部件的所述主面时,所述边部的宽度尺寸与所述角部的宽度尺寸相同。
4.根据权利要求3所述的压电振子,其中,
所述角部包括:以第一半径形成的第一圆角、和与所述第一圆角同心且以与所述第一半径不同的第二半径形成的第二圆角,
在俯视所述基座部件的所述主面时,所述第一半径与所述第二半径的差和所述边部的所述宽度尺寸相同。
5.根据权利要求3所述的压电振子,其中,
所述角部包括:直线部,在俯视所述基座部件的所述主面时该直线部具有与所述边部相同的宽度尺寸;第一曲线部,连接多个所述边部中的一个边部和所述直线部;以及第二曲线部,连接多个所述边部中的另一个边部和所述直线部连接,
所述第一曲线部以及所述第二曲线部分别包括:以第一半径形成的第一圆角、和与所述第一圆角同心且以与所述第一半径不同的第二半径形成的第二圆角,
在俯视所述基座部件的所述主面时,所述第一半径与所述第二半径的差和所述直线部的所述宽度尺寸相同。
6.根据权利要求3至5中的任一项所述的压电振子,其中,
所述基座部件包括与所述角部邻接的防合金化膜。
7.根据权利要求3至5中的任一项所述的压电振子,其中,
所述基座部件包括在与所述角部邻接的位置形成的槽。
8.一种压电振子的制造方法,包括:
准备基座部件的工序;
将压电振动元件保持于所述基座部件的主面的工序;以及
通过接合部件将所述基座部件和盖部件接合的工序,
在俯视所述基座部件的所述主面时,所述接合部件具有包围所述压电振动元件的框形,该框形的宽度为固定。
9.根据权利要求8所述的压电振子的制造方法,其中,
所述盖部件以及所述接合部件的材料分别是金属,
所述接合的工序包括加热来熔融所述接合部件。
10.根据权利要求9所述的压电振子的制造方法,其中,
所述框形包括矩形,该矩形包括角部,
所述角部包括圆角,
所述接合的工序包括:与所述角部邻接地配置防合金化膜、和通过所述防合金化膜形成所述圆角。
11.根据权利要求8或9所述的压电振子的制造方法,其中,
所述框形包括矩形,该矩形包括角部,
所述角部包括圆角,
所述接合的工序包括通过激光微调除去所述接合部件的一部分来形成所述圆角。
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